フッ化カルシウム単結晶

半導体の製造に用いられる縮小投影半導体用露光装置のレンズ材料であるフッ化カルシウム単結晶を均質な結晶が得られるとされるCZ法で世界初となる直径300ｍｍの大きさで作成することに成功いたしました。

【特長】

◆CZ法による大口径単結晶

◆面内均質性に優れ、レーザーダメージが少ない

◆真空紫外域から赤外域まで広範囲で透過

◆主な用途として半導体用露光装置の投影系・照明系レンズ材料に用いられる

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