蒸着装置のカタログ一覧
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最終更新日：2012/05/21
PBN製【高純度ルツボ】ご要望に応じた形状にて都度設計製作致します。
【製作範囲】 ◉ 外径：〜φ330mm ◉ 高さ：〜500mm ◉ 厚さ：〜1.0mm ◉ その他チューブ形状、プレートもお請け致します。 ※ 物性値は資料を参照下さい。
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最終更新日：2010/05/13
VPC-1100
作業効率に優れた高速型の真空蒸着装置です。 基板加熱装置、成膜コントローラー、ターボ分子ポンプ、 EBガン等各種オプション対応が可能です。 ◆特徴 1 金属・有機物の成膜装置 2…（つづきを見る）
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最終更新日：2011/03/24
面内分布、急温、急冷性能、高温タイプ
エレクトロニクス市場全般に亘りユーザーへソリューションを提供している 三井物産エレクトロニクス社が取り扱う 『ワイドバンドギャップ半導体対応 高温オーミックアロイ装置（OS-5500HT）』 …（つづきを見る）
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最終更新日：2010/04/28
VPC-260F
小型高真空蒸着装置です。 オプションパーツを組み合わせることにより、機能の拡大が可能です。 ◆特徴 1 金属・有機物の成膜装置 2 取扱いが非常に容易で、どなたでも蒸着を行うことができ…（つづきを見る）
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最終更新日：2010/04/28
VPC-060/VPC-060A
【特長】 ●金属・有機物の成膜装置 ●取り扱いが容易な為、誰でも蒸着を行うことができる ●ガラスベルジャーにより、内部が見やすく各種実験に最適 ●卓上型の真空蒸着装置。超小型の為、機能拡張性に…（つづきを見る）
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最終更新日：2010/05/13
蒸着装置DEPOXシリーズ
【特長】 ●金属・有機物の薄膜用の蒸着装置 ●主排気系は、クリーンな真空を得られるターボ分子ポンプを使用 ●機能拡張性に優れている ●蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着（最大４層）…（つづきを見る）
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最終更新日：2011/03/24
SWP高密度プラズマアッシング装置
エレクトロニクス市場全般に亘りユーザーへソリューションを提供している 三井物産エレクトロニクス社が取り扱う『薄膜加工装置』 ■□■ラインナップ■□■ ■SWP高密度プラズマアッシング装置…（つづきを見る）
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最終更新日：2012/03/28
重い製品の移動が、誰にでもラクこなせる「ラクラクハンド」。 ひとの負担を減らし、快適で安全な作業環境をつくります。
【事例写真を掲載】 ・印刷シリンダーのセット作業 ・エアシャフトのセット作業 ・原反の反転作業 ・ロールの梱包作業 etc.
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最終更新日：2010/01/12
温度制御型 真空圧力センサ ７００ シリーズ
セトラシステムズ社のモデル７００シリーズセンサは静電容量検出方式で高精度の温度制御型真空センサです。重要なプロセス用途でガスがセンサ内で凝縮してプロセスを汚染するのを防ぐためにセンサを加熱する構造にな…（つづきを見る）
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最終更新日：2011/10/14
ゲートバルブ(真空バルブ)は常に真空と大気又は真空と真空を隔離するために使用されます。
ゲートバルブ(真空バルブ)は半導体やディスプレイやコーティング等の装置に汎用されています。ある場合、ゲートバルブ(真空バルブ）は真空チャンバーと真空ポンプの間に配置して真空チャンバーの圧力を調整するた…（つづきを見る）
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最終更新日：2011/09/06
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最終更新日：2010/01/12
半導体蒸着ガス用高性能フィルター
ＴＥＭガスフィルターは、１００％のグラスファイバーとステンレス鋼で製作され有機物質は全く使用されていません。反応性のガス、ハロゲン化ガスに使用出来るように設計されています。特に半導体産業で使用されてい…（つづきを見る）
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最終更新日：2009/02/19
ウルトラクリーン圧力トランスデューサ・トランスミッタ212FT/C212FT
真のフロースルー設計で、微粒子や水分のたまりがを完全に除去！ 【特徴】 ○高精度の長期安定性により、すぐれた圧力制御と信頼性の 高いシステム操作が可能 ○接ガス部は、表面粗度0.18R…（つづきを見る）
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最終更新日：2012/05/15
特許な溶接の技術でステンレスとサファイアを封着します。コバール等の金属を使わないため、製品は非磁性の物です。
製品特長 ＊窓材はサファイアを採用するため、光の透過率が良い ＊特許の溶接方法で異質のステンレスとサファイアを溶接する。 ＊コバールなどの磁性材を使用しないため、周辺の磁場に影響することがない。…（つづきを見る）
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