ＴＧ３４６０Ｍ　カタログ

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最終更新日：2007/08/20

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ＴＧ３４６０Ｍ　カタログ　基本情報

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大流量と高圧縮を両立したターボ分子ポンプです。・TMP同クラス比較でNO.1の水素圧縮比(30,000)を達成し、排気速度(2700L/s)も同クラス比較でトップクラスです。・水素排気性能が大幅に向上したことにより水素分圧を下げることができ、品質向上に貢献します。

大流量と高圧縮を両立したターボ分子ポンプです。
・TMP同クラス比較でNO.1の水素圧縮比(30,000)を達成し、排気速度(2700L/s)も同クラス比較でトップクラスです。
・水素排気性能が大幅に向上したことにより水素分圧を下げることができ、品質向上に貢献します。（詳細を見る）

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