プライムロック継手0418

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基本情報プライムロック継手

クリーンで確実なシールを実現するPFA継手

インテグリスは、高純度薬品の流体機器分野において、独創的な継手製品を長年に渡って提供しています。PrimeLock（プライムロック）は、クリーンで丈夫、そして組み立てが容易なPFAチューブ継手です。

200℃対応のハイエンドPFAチューブ継手「プライムロック」

インテグリスは、長年にわたり高純度腐食性薬品のハンドリングにおいて、独創的な継手を提供しています。最新のPrimeLock（プライムロック）は、クリーンで丈夫、さらに施工が容易なPFAチューブ継手で、音と目視により、確実な接続を確認できます。また、施工時に加熱処理が不要で、作業時間とコストが抑えられます。（詳細を見る）

ソリューション「高純度薬液の供給」

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。

また好適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

インテグリスは、汚染を制御した薬液容器、フィルター、ポンプ、流体制御製品によってお客様が清浄度の高い薬液を供給し、製品の歩留まりを向上させ、経済的損失を減らすことをお手伝いすることができます。

【特長】
■清浄度の高い薬液を供給
■製品の歩留まりを向上
■経済的損失を減少

※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードして下さい。

※「高純度薬液の供給」に関連する製品については、以下の「PDFダウンロード」から資料をダウンロードしてください。（詳細を見る）

取扱会社プライムロック継手

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。