RXフィルタ

RXフィルタ

単/多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される
真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠な有害粒子の
除去に最適な真空フィルタです。

【特長】

◆高効率濾過！９９．９７％　＠０．３ミクロン

◆ウエット、ドライ、双方の真空ポンプ使用に見合うように設計

◆逆流防止対策可能

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