株式会社クボタ計装
最終更新日：2019-12-25 17:35:07.0
ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
基本情報ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！【図書カード1000円分プレゼントキャンペーン中】
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。
高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！
【その他の特長】
■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査）
■欠陥の凹凸を弁別
■全数オートフォーカス
■カスタマイズ対応
■1カセット自動検査対応
＜＜＜図書カード プレゼントキャンペーン実施中！＞＞＞
簡単なアンケートにお答え頂くと、
先着50名様に図書カード1000円分を差し上げます！
※下記「お問合せ」からお申込み下さい！（締切：2016年3月31日）
ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。
高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！
【その他の特長】
■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査）
■欠陥の凹凸を弁別
■全数オートフォーカス
■カスタマイズ対応
■1カセット自動検査対応
■欠陥に対する高精度マーキング（オプション）
■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）
（詳細を見る）
取扱会社 ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
クボタは、ロードセル（荷重センサ）を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。 【取扱製品】 ・デジタルロードセル ・LPG充填シリーズ ・台はかりシリーズ ・指示計 ・トラックスケールシリーズ ・粉粒体機器 ・防爆はかりシリーズ ・廃棄物計量システム ・ホイストスケール（吊りはかり）
ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
