マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500

マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500

アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する アリオス社だからこそできる、柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射 　その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等 　多種に渡り製作が可能 ○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため 　様々なプロセスに対応可能 ○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため 　ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要 ○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター 　さらに超高真空まで対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。