公転式スピンドライヤー

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基本情報公転式スピンドライヤー

公転式スピンドライヤー

回転による遠心力と吸引される気流の作用により、ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。
自動バランス修正装置の追加によりウエハセット枚数に関わらず安定した回転を実現。

公転式スピンドライヤー

●発塵要因を徹底的に排除
●安全でクリーンな短時間乾燥を実現
●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現
●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備
●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意
●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。（詳細を見る）

取扱会社公転式スピンドライヤー

大宮工業株式会社営業本部営業課

■精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の製造・販売及び　回転機器メンテナンス

公式サイト

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