表面粒子測定器 QIII+
半導体・FPD・太陽電池製造時のパーティクル管理に。表面粒子測定器
定期メンテナンスの後で真空装置が稼働出来ない時、典型的な理由としてチャンバのクリーニングの不備が挙げられます。Pentagon Technologies社の表面粒子測定器QIII+を使用する事により、
・定期メンテナンスの品質向上
・装置ダウンタイムの低減
・発塵源の特定
・部品の耐久性確認
・自社での洗浄部品の出荷前検査や受入検査の確立
つまり、生産性向上（装置稼働率の向上）、コスト削減、歩留まり向上が狙えます。
・定期メンテナンスの品質向上
・装置ダウンタイムの低減
・発塵源の特定
・部品の耐久性確認
・自社での洗浄部品の出荷前検査や受入検査の確立
つまり、生産性向上（装置稼働率の向上）、コスト削減、歩留まり向上が狙えます。
表面粒子測定器QIII+は、真空装置のチャンバーなどの表面上の微粒子（パーティクル）を手軽に測定します。製造工程において、定期的なメンテナンスを実施した後の清浄度が迅速に行えます。ダミーウェーハなどを使用して確認をしていた従来の方法と比べて、真空引きをする必要がない為、メンテナンス後の確認に要する時間を大幅に削減します。また、粒子管理が困難な「取り外し不可能な部品」の粒子数測定も現場で迅速に行えます。
この効率的な作業が、生産性の向上、コスト削減、歩留まり向上に大きく寄与します。各部位の測定を行う事で、清掃基準の明確化・品質基準のバラツキを押さえる効果も生まれます。また、洗浄再生部品の出荷前・受入検査等にも使用できます。
- 価格：
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- 型番：
- PENTAGON TECHNOLOGIES Surface Particle Detector QIII+
用途・実績例
QIII＋を応用して以下の効果が期待されます。
１．トラブルシューティング
・発塵トラブルの際の発塵源の特定
・ウェットクリーニング後の発塵粒子か構成部品からの恒常的な発塵かを切り分ける事が可能
２．PMの品質保全と装置ダウンタイムの低減
・毎回同じ品質でのメンテナンスが可能
・確実なメンテナンス手法を確立
３．洗浄再生部品の出荷前・受入検査
・洗浄再生部品の表面残留粒子の出荷前検査
・洗浄再生部品の受入検査と装置装着前の検査
４．装置、部品開発
・負荷試験、耐久テスト後の発塵の程度確認
ご参考：
個体サンプル用ゼータ電位測定装置 - ポリマー、テキスタイル、セラミックス、ガラス、界面活性剤等の固体/液体界面の海面電動効果分析に
よく使用される業界
民生用電子機器、産業用電子機器、精密機器、半導体・液晶、機械、工業材料・素材、金属加工・アセンブリ、研究機関（民間・公共)、その他