株式会社ディー・エス・アイ

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株式会社ディー・エス・アイのニュース・トピックス

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太陽電池セル製造に関係する各種装置をご提供しております。
角基板の立替を含めた搬送システム込みの横型拡散装置、
更に、ソーラーグレ-ドのシリコンインゴットを破砕する、サーマルクラッキング装置など
多彩なラインナップを取り揃えております。
国内はもとより、海外での納入実績も十分あります。
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【縦型・横型を問わず既存炉のコントロ-ラ-不良でお困りのお客様へ】
炉体の温度・バルブ・ＭＦＣ等を制御し、
またロ-ダ-等の駆動系も合わせてコントロ-ル出来る1ボックス型の拡散炉専用コントローラー
【特長】
◆炉制御には欠かせない機能を十分満たし、
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低コストを追求し、石英ボート、カセットの双方向移載！
６inchと８inchにチェンジキット対応でエアー源不要のウェーハ移載機！
【特長】
●必要な機能に絞った簡単操作
●ボートとカセットを自動識別する為、カセット取出／カセット収納
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