株式会社ヒロテック 東京営業所:取扱製品・サービス一覧

高純度石英を使用。高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーター

半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。 20…（つづきを見る）

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ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整

◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動／自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工…（つづきを見る）

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超清浄・コンパクトケミカルポンプ/ダイアフラムポンプ　MAXIM PUMPS

半導体産業で使用されている腐食性のある薬品や高清浄な薬品に最適な エア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○180度までの薬液を毎分50リットルで循環および移送ができる ○小型で大吐出量 ○P…（つづきを見る）

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超清浄・コンパクトケミカルポンプ/ダイアフラムポンプ

高い評価を得ているマグナム610を技術的に進化させた 高清浄ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○110度までの薬液を毎分45リットルで循環および移送ができる ○セラミック製シャトルバルブ、調節…（つづきを見る）

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超清浄・コンパクトケミカルポンプ（中流量用）/ダイアフラムポンプ

110度までの薬液を毎分36リットル排出できるダイアフラムポンプ 【特徴】 ○最高使用温度：110℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：36L ○2重のPFAダイアフラム …（つづきを見る）

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超清浄・コンパクトケミカルポンプ（低流量用）/ダイアフラムポンプ

高純度薬液を低流量で吐出する使用で高い実績と信頼！ 120度までの薬液を毎分20リットル吐出できるエア駆動ダイヤフラムポンプ 【特徴】 ○調節可能なマフラーは高背圧/低流量でも安定した運転を…（つづきを見る）

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超清浄・コンパクトケミカルポンプ　MEGA960

薬液の大流量循環または移送に最適なエア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○エンストしない設計で、どのような状態からでも運転が可能 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.55MPa …（つづきを見る）

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超清浄・コンパクトケミカルポンプ　ピューラス20

従来のポンプメンテナンス問題を独自の方法で解決するべく開発された 高清浄、使い捨て設計のエア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○PFA射出成型により高清浄度と最小部品点数で構成され、高信頼性…（つづきを見る）

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空気圧＆水圧　テフロン（R)アスピレータ

米国ビーコマニュファクチャリング社製 空気圧＆水圧アスピレータ 【特徴】 ○テフロン（R)で成型 ○サイフォン現象を利用 ○危険性の高い薬液を効果的に扱えるよう設計 ○加圧空気を利用 …（つづきを見る）

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SiCインラインヒーター ACCUHEAT

HF/KOH/溶剤等の昇温に最適 SiCインラインヒーター 【特徴】 ○IMTEC社製 ○フッ酸・アルカリ液（KOH、TMAH）対応 ○SiCチューブを使用 ○ヒーターを直接貼ることに…（つづきを見る）

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温度コントロールバス　ACCUBATH

UL認証取得　SEMI S3適合 IMTEC社製　温度コントロールバス 【特徴】 ○UL認証取得 ○SEMI S3にも適合 ○高効率のインコネルヒータ搭載 ○低温出力で最適な熱伝導によ…（つづきを見る）

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高純度石英インラインヒーター　ACCUHEAT（R)

UL認証・CEマーク取得済　SEMI・S2/S3適合 高純度石英インラインヒーター 【特徴】 ○インコネルヒーターを使用したインラインヒーター ○外装はテフロン(PTFE)を使用 ○高温…（つづきを見る）

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超高清浄度プロセス用　圧力、流量、レベル、温度スイッチ

製造テクノロジー ステンレス製圧力スイッチ 【特徴】 ○高い再現性 ○高真空でも使用可能 ○電子ビーム溶接によるリークのない構造 ○取付姿勢により影響を受けない ○高圧使用も可能（オ…（つづきを見る）

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ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACCUBATH

信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用　 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 …（つづきを見る）

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