株式会社ＩＢＳ

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流量計測機器

装置自身の状態を監視し、的確なフィードバックを行うことが重要です。
現場から聞こえる生の声を通して得たノウハウを生かし、的確な製品をご提供してまいります。弊社では、高性能なマスフローMFC/MFM(気体・液体）、コリオリ式、超音波式、容積式、ローコストな面積式まで幅広く取り扱っています。

マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。主要なガス制御アプリケーションに適しています。⾼…
マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』

標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル

『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいてフィールドで活躍するマスフローコントローラです。高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により…
マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフローコントローラです。優れた流量安定性により、チャ…
デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』

優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します

『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応するデジタルマスフローコントローラです。高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上経…
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優…