株式会社アルバック 東京事務所:カタログ一覧

ピラニ真空計GP-Gシリーズ

本真空計は、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。白金フィラメントを使用しており、大気圧でも壊れません。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。メータリレー付きもあり、各種イ…（つづきを見る）

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差動排気系キット付き四重極型質量分析計Qulee withYTP

アルバックの四重極型質量分析計の実績、またお客様のニーズに合わせ、さらに機能を充実し使いやすくなった差動排気系キット付Quleeです。各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広…（つづきを見る）

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UNECS-2000は高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現した最新の分光エリプソメータです。

UNECS-2000（ユネクス-2000）は高次移相子を備えた分光偏光方式を採用し、従来の分光エリプソメータの測定方式では不可能であった、高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現した最新の分光…（つづきを見る）

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UNECS-3000Aはスナップショット計測による高速測定と自動マッピング機能により、薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価。

UNECS-3000Aはスナップショット計測による高速測定と自動マッピング機能により、薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価できる高速分光エリプソメータです。簡単なレシピ設定で高速・高精度な分布評価を…（つづきを見る）

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HELIOT710シリーズは、ヘリウム(Helium)リークテストのあらゆるニーズに広く対応できる全自動リークディテクタ。

HELIOT(ヘリオット)710シリーズは、ヘリウム(Helium)リークテストのあらゆるニーズに広く対応できる全自動リークディテクタです。豊富なポンプラインナップや各種校正リーク、またスニッファー法…（つづきを見る）

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自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタ

高いレイアウト性、小型化による省スペース化に貢献 、3テストポート、 ユーザーインターフェース。他、カタログには特徴・用途・仕様の詳細を記載しております。

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高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさ

高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモ…（つづきを見る）

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革命的なシンプルさと使いやすさの残留ガス分析計

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管…（つづきを見る）

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2.5 x E-6 A/Paという高感度を実現

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズに新たにハイエンドモデル機として"Qulee HGM"がラインナップに加わりました。 2…（つづきを見る）

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反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302は、Quleeシリーズのエッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。アルバック独自のイオン…（つづきを見る）

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“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエア

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエアです。 バックグラウンド処理機能、測定領域の積分処理機能、CSV形式によるデータの保存機能、RS485通信…（つづきを見る）

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大気圧から5 x 10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。

大気圧から5 x 10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。従来のコントロールから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、コスト低減や省スペース化を可能としました。他、カタロ…（つづきを見る）

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センサユニットタイプになっており、「測定子と回路部が一体型(測定子の交換可能)」

センサユニット(SC1)は、G-TRANシリーズのコールドカソードゲージ型の計測ユニットです。センサユニットタイプになっており、「測定子と回路部が一体型(測定子の交換可能)」です。他、カタログには特徴…（つづきを見る）

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測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に

本ディスプレイはG-TRANシリーズおよびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。測定ユニットと接続することにより、測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかり…（つづきを見る）

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