株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

スマートフォン対応ピラニ真空計『SWU10-U』

専用の電源やディスプレイは不要！お持ちのスマートフォンで手軽に真空計測が可能です

『SWU10-U』は、USB ケーブルによりスマートフォンとダイレクトに 接続が可能なスマートフォン対応ピラニ真空計です。 お客様がお持ちのスマートフォンで手軽に真空計測が可能。専用の電源や …

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバック／ULVAC】

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの…

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No77

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.77です。【アルバック／ULVAC】

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.77」は、真空に関する最新技術資料です。 プリント基板製造用スパッタリング装置「SMV-500F」をはじめ、 Si デバイスのはんだ実装…

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No76

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.76です。【アルバック／ULVAC】

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.76」は、真空に関する最新技術資料です。 InGaZnO TFT 関連成膜技術のOLED パネルへの適用をはじめ、 真空計｢G-TRAN…

真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中！※展示会出展

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に凝縮！『真空の基礎知識』プレゼント【SEMICON出展】

真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！ 真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号…

技術レポート進呈『アルバック テクニカルジャーナル No.80』

パネルレベル高密度実装、磁気抵抗メモリ、電離真空計など電子デバイスの研究・設計・開発に役立つ先端技術を解説！

『アルバック テクニカルジャーナル』は、技術開発型企業アルバックならではの 技術者独自のレポートを紹介しているアルバックグループの技術情報誌です。 今号では、近年ニーズが高まっているICパッケ…

R＆D用スパッタ装置『QAMシリーズ』※ユーザーボイス進呈中

「サンプル作業時間が1/3になった！」。コンパクト設計で自動化も推進。研究開発に特化した新モデルも！

『QAMシリーズ』は研究開発、材料開発等の小規模実験で要求される様々な機能に対して、 アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のスパッタ装置です。 約1Pa～0.1Pa…

R&D用スパッタ装置 QAMシリーズ

各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持たせながら、小型化が実現。

各種研究開発、材料開発等の小規模実験用途から要求される様々な機能に対して、アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のＲ&Ｄ装置。 【特徴】 ○低圧力プロセス …

真空装置のプロが作った技術資料『真空基礎知識』※ダウンロード進呈

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に凝縮！『真空の基礎知識』プレゼント中

真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！ 真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号…

触針式プロファイラー　Alpha-Step D-500/600

低針圧測定！さまざまな試料表面を測定するプロファイラーです。【アルバック／ULVAC】

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 ワイドな垂直測定レンジ、優れた段…

触針式プロファイラー　P-7/P-17

優れた段差測定再現性！自動シーケンス測定機能付プロファイラーです。【アルバック／ULVAC】

P-7/P-17は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 優れた段差測定再現性。自動シーケンス測定機能、3タイプの測定…

異常放電防止ユニット　A2Kシリーズ

高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】

A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能…

真空計G-TRANシリーズ　マルチイオンゲージST2-1/2-2

測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】

真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でも…

油回転真空ポンプ　VDシリーズ Ver.C

強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】

VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利…

ドライポンプ省電力化アタッチメント　ECO-SHOCK ES4A

排気速度の低下なし！ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。【アルバック／ULVAC】

ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポン…

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈中！【アルバック／ULVAC】

真空装置の開発・製造・販売を手がける当社の、技術とノウハウが詰まった 「総合カタログ」と「真空に関する技術資料」をプレゼント中！ 総合カタログには、長期間の安定運転が可能な「ドライ真空ポンプ」…

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバック／ULVAC】

ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。 大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止…

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【アルバック／ULVAC】

ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空…

成膜装置向け電源（DC・RF・EB）　ラインナップ

装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成膜装置向け電源です【アルバック／ULVAC】

株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向…

真空搬送ロボット

クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】

真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 …

金属蒸着用EBガン EGNシリーズ

メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり…

光学用EBガン EGP-1G

コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】

EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再…

成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ

高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバック／ULVAC】

RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオー…

成膜用EB電源HPS-Nシリーズ

回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご…

成膜用DC電源 DPG-10/DPG-20

10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。【アルバック／ULVAC】

DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。 信頼性のある部品と回路で構成しております。 長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に…

超高真空導入機、ゼロレングス覗窓

UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／ULVAC】

UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリー…

超高真空フランジUFCシリーズ

ISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。【アルバック／ULVAC】

UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。 UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、…

真空バルブシリーズ

長年の経験と専門メーカーとしての真空技術が生かされています。【アルバック／ULVAC】

アルバックの真空バルブは、長年の経験と専門メーカーとしての真空技術が生かされています。 Ｌ型からゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、すべての領域・条件・用途に対応可能なアルバックの真空バルブを…

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。【アルバック／ULVAC】

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチング…

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ CRTSシリーズ

水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバック／ULVAC】

CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成…

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G

低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック／ULVAC】

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発…

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】

CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レー…

高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ

薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【アルバック／ULVAC】

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ス…

リークディテクタ HELIOT 900シリーズ

排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。【アルバック／ULVAC】

HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。 保守パネルは簡単に外す事ができ、各部へのア…

差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP

豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。【アルバック／ULVAC】

差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセ…

ガス分析計Quleeシリーズ　オプション

Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。【アルバック／ULVAC】

ULVAC の残留ガス分析計／プロセスガスモニタ『Qulee』シリーズは様々なオプションを用意しています。 自動測定開始機能を追加した『Qulee QIP』やジャケットヒータ、キャリーケースなど、Q…

極高真空計 AxTRAN

Bessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。【アルバック／ULVAC】

AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5x10^-10…

ピラニ真空計GP-Gシリーズ

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。【アルバック／ULVAC】

GP-Gシリーズは、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。 フィラメント材に白金（Pt）を使用しており大気圧でも壊れません。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。 また…

G-TRANシリーズピラニゲージ

3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】

センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機…

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニット

圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック／ULVAC】

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転…

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。【アルバック／ULVAC】

チタンゲッタポンプ（GGT-3、PGT シリーズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H…

油拡散エゼクタポンプ PBLシリーズ

長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。【アルバック／ULVAC】

ULVAC のPBL 型油拡散エゼクタポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。 数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。 PBL-0…

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVAC】

デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 F…

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズ

大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】

YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排…

ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTM シリーズ

高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【アルバック／ULVAC】

UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般…