株式会社アルバック 東京事務所:取扱製品・サービス一覧

高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現した最新の分光エリプソメータ

UNECS-2000（ユネクス-2000）は高次移相子を備えた分光偏光方式を採用し、従来の分光エリプソメータの測定方式では不可能であった、高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現した最新の分光…（つづきを見る）

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薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価できる高速分光エリプソメータ

UNECS-3000Aはスナップショット計測による高速測定と自動マッピング機能により、薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価できる高速分光エリプソメータです。簡単なレシピ設定で高速・高精度な分布評価を…（つづきを見る）

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エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタ

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302は、Quleeシリーズのエッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。アルバック独自のイオン…（つづきを見る）

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ヘリウムリークテストのあらゆるニーズに広く対応できる全自動リークディテクタです。

■ 最高レベルの感度（0.1 x 10-12台Pa・m3/secの最小可検リーク量） ■ 大型タッチパネルによる豊富な情報量と優れた操作性 ■ セレクトフリーフロー排気系によるフルオート動作 …（つづきを見る）

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自動リークテストシステム用に専用設計

自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタです。

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革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管…（つづきを見る）

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高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現

高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモ…（つづきを見る）

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2.5 x E-6 A/Paという高感度を実現、各種研究開発用途からプロセス管理まであらゆるニーズに対応します。

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズに新たにハイエンドモデル機として""Qulee HGM""がラインナッ…（つづきを見る）

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各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広く活用可能

アルバックの四重極型質量分析計の実績、またお客様のニーズに合わせ、さらに機能を充実し使いやすくなった差動排気系キット付Quleeです。各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広…（つづきを見る）

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アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエア

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエアです。 バックグラウンド処理機能、測定領域の積分処理機能、CSV形式によるデータの保存機能、RS485通信…（つづきを見る）

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測定子と回路部が一体(測定子の交換可能)

□アナログ信号及びセットポイント出力(2点) □擬似ログ出力(ボックスユニットのみ) □RS-485通信(マルチドロップ対応、ボックスユニットのみ) □測定子の交換が容易、従来の測…（つづきを見る）

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測定子のベーキングが行なえる測定子と回路部が分離したタイプ

□擬似ログ信号及びセットポイント出力(2点) □RS-485通信(マルチドロップ対応) □測定子の交換が容易 □測定子のベーキング可能

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超高真空領域の測定が可能。センサが小型・金属製ですので、破損の心配がなく、装置への取付けスパースをとりません。

□10Paから5x10-8Paまでの8桁半にわたる幅広い測定範囲を持っています。 □フィラメントの材質がイリジウムですので、酸素雰囲気をはじめとする各種用途での耐久性が向上しています。 …（つづきを見る）

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極高真空計

■0.5x10-10 〜 1x10-2Paの広い圧力範囲 ■独立したセットポイントを2点装備しています。 ■仮数部3桁表示の見やすいLED ■リモートIO、デジタル出力(B…（つづきを見る）

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