株式会社ディー・エス・アイ:取扱製品・サービス一覧

小ロット生産や研究開発に最適の低温アニール専用の小型炉です。

小ロット生産や研究開発に最適の低温アニール専用の小型炉です。 ◆急速昇温 ◆急降温 ◆低酸素雰囲気 ◆高真空対応（オプション） ◆精度の高い低温コントロール

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半導体工場の装置と同等の性能を有しながら、実験机の上に設置可能。

◆ヒーターはカンタルA-1を使用 ◆生産炉なみの均熱安定性 ◆小型ながらWet（バブラー）酸化に対応 ◆作業机にガスBOX・炉体が収まるコンパクト設計 ◆低価格設定（１ゾーンタイプ）…（つづきを見る）

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小型ながら、半導体グレ−ドでの各種熱処理プロセスが行える実験炉

小型でありながら、半導体グレ−ドでの各種熱処理プロセスが行える実験炉です。お客様の仕様に合わせ、低温から１４００℃の高温処理、また、真空システムとの組合せにより、ＣＶＤや真空アニ−ル炉としてもご使用い…（つづきを見る）

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拡散炉用各種温度コントローラー

【縦型・横型を問わず既存炉のコントロ-ラ-不良でお困りのお客様へ】 炉体の温度・バルブ・ＭＦＣ等を制御し、 またロ-ダ-等の駆動系も合わせてコントロ-ル出来る1ボックス型の拡散炉専用コントロー…（つづきを見る）

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太陽電池セル製造に関係する各種装置をご提供

太陽電池セル製造に関係する各種装置をご提供しております。 角基板の立替を含めた搬送システム込みの横型拡散装置、 更に、ソーラーグレ-ドのシリコンインゴットを破砕する、サーマルクラッキング装置な…（つづきを見る）

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ウェーハ移載機

低コストを追求し、石英ボート、カセットの双方向移載！ ６inchと８inchにチェンジキット対応でエアー源不要のウェーハ移載機！ 【特長】 ●必要な機能に絞った簡単操作 ●ボートとカセ…（つづきを見る）

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ダークホースワン　最強の低温アニール炉

小ロット生産や研究開発に最適の低温アニール専用の小型炉です。 【特長】 ◆急速昇音 ◆急降温 ◆低酸素雰囲気 ◆高真空対応（オプション） ◆精度の高い低温コント…（つづきを見る）

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12インチ用小型縦型炉

待望の12インチ用小型縦型炉の誕生です。 【特長】 小ロット生産や研究開発に最適のアニール専用の小型炉です。 【仕様】 ・ウエハサイズ １２インチ・８インチ兼用可 ・温度 ６００…（つづきを見る）

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ダークホースワン

ミニバッチ生産に適した小型炉で開発から生産まで幅広く対応 【特長】 ◆SICプロセスチューブ（オプション） ◆降温（オプション） ◆酸素雰囲気（オプション） ◆真空対応（オ…（つづきを見る）

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コム移載機（ウエハ一括移載機）

1カセットのウエア−を一括して移載可能なコム（櫛歯タイプ）移載機です。 ４〜１２inchまで対応可能です。 縦型炉等の多枚数処理を行う炉の場合、枚葉移載に比べ早い移載処理が行えます。 【特長…（つづきを見る）

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既存炉の改造、移設、転売のお問合せ

プロセス変更による既存炉の改造、またコントローラー系の不良により稼動していない炉の 制御系改造、遊休設備の移設または転売等。 拡散炉に付いてお困りの事があればご相談下さい。 弊社オリジナルの…（つづきを見る）

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