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      各種加工

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      成膜加工・シリコン各種加工品(特殊加工・特殊厚み)も対応可能です。

      • CZウェーハ 成膜加工 製品画像

        CZウェーハ 成膜加工

        2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。

        株式会社エナテックのCZウェーハ 成膜加工は、膜種により2インチから450mmウェーハへの成膜が可能です。 酸化膜系:熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPS…

      • CZウェーハ エピ受託加工 SiGeエピウェーハ 他 製品画像

        CZウェーハ エピ受託加工 SiGeエピウェーハ 他

        小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応いたします。

        「エピウェーハ」 1. ディスクリートデバイス向けや IC powerデバイス向けに使用されております。 *直径: 100-200 mm *Epi層ドーパント: Boron 、Phospho…

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