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最終更新日:2011/11/24

ゆうげんがいしゃふりーだむ 

有限会社フリーダム

業種:電子部品・半導体 所在地:神奈川県 横浜市都筑区 加賀原1−24−6−206

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微細レーザー加工機 微細レーザー加工機

産業用レーザー加工機.jpg

1μm~60μmの矩形で自在にウェハの全自動トリミングを行うレーザートリミング装置やデバイス欠陥の正確なマーキングができる微細レーザー加工機(デバイス欠陥マ-カ-)などユニークな製品をを取り揃えています。 特注製品も数多く対応しています。

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表示件数
15件
  • 最終更新日:2012/02/14

    レーザートリミング装置

    φ8、φ6インチウェハ上の特定位置を加工線幅1μmで正確にトリミングします。

    〇 φ8、φ6インチウェハおよび200角基板対応自動機。 〇 加工線幅1μmで正確にトリミングします。 〇 金属膜、有機フィルムなど幅広い材料の加工ができます。 〇 YAG第4高調波266nmを…(つづきを見る

  • 最終更新日:2010/09/24

    デバイス欠陥マーカーの製品画像です

    最小線幅1μmでデバイス欠陥位置にマーキング。 トリミングや微細電子回路のダイレクト加工が可能

    本機ではデバイス欠陥位置を最小線幅1μmでマーキングしFIBで正確な試料位置を切出す 事が可能です。専用のデバイス欠陥マーキングソフトを用意しオートプローバー等の検査装置 から得られるデバイス欠陥…(つづきを見る

  • 最終更新日:2012/05/07

    ナノサーボステージの製品画像です

    高精度アクチュエータ。変異拡大機構を備え最大500μmのストローク

    高速応答性と高分解能。ピエゾアクチュエータと変異センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現します。また変異拡大機構を備えたタイプは最大500μmの移動領域をカバーします。

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