最終更新日：2010/10/01
かぶしきがいしゃ
エムイーエス アフティ株式会社
業種：産業用機械 所在地：東京都 八王子市 兵衛２−３５−２
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最終更新日：2010/10/01
低温・低損傷、高品質薄膜形成。固体ソースECRプラズマ成膜装置
【装置特徴】 ■マイクロ波導入窓への膜付着を防ぎ、長期安定稼動を実現した分岐結合型ECRプラズマ源搭載 ■固体ソースからのスパッタ粒子と低エネルギー・大電流のECRプラズマ流（酸素、窒素等）を…（つづきを見る）
最終更新日：2010/10/01
かぶしきがいしゃ
エムイーエス アフティ株式会社
業種：産業用機械 所在地：東京都 八王子市 兵衛２−３５−２
最終更新日：2010/10/01
低温・低損傷、高品質薄膜形成。固体ソースECRプラズマ成膜装置
【装置特徴】 ■マイクロ波導入窓への膜付着を防ぎ、長期安定稼動を実現した分岐結合型ECRプラズマ源搭載 ■固体ソースからのスパッタ粒子と低エネルギー・大電流のECRプラズマ流（酸素、窒素等）を…（つづきを見る）
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