入江工研株式会社:カタログ一覧

真空用フレキシブルチューブ

IKCでは真空用機器（加速器及び半導体機器等）の配管接続に便利で、かつ柔軟な耐腐蝕性の4種類の真空フレキシブルチューブを規格化しました。なお規格品以外の長さ及びフランジの製作も行っています。

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ロイヤル成形ベローズ

真空機器（特に半導体製造装置）の各種可動部分及び、 バルブの軸シールに使用するベローズとしてハステロイ (R)C22を用いた成形ベローズを規格化しました。 ■耐腐食性に優れている ・他のN…（つづきを見る）

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成形ベローズ

KFフランジ+端管付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS316

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NW-KF配管継手、他

ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な高圧配管用クランプ部品です。使用最高圧力0.49MPaまでご使用頂けます。ＮＷ２５〜ＮＷ６３までのサイズに対応しています

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高真空アングルバルブ

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。

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角型ゲートバルブ（コスラーズ?U）

「コスラーズ２」は、無摺動角型ゲートバルブとし、国内最初に開発した「コスラーズ１」の設計思想(無塵化)を受け継ぎ、より高性能に発展させたゲートバルブです。 その「コスラーズ２」をＩＫＣの継続した開発…（つづきを見る）

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角型ゲートバルブ（コスラーズ）

次世代のＬＳＩ及びＬＣＤの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 高集積度素子、化合物半導体、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。

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ベロース式直線導入機

ＩＫＣの直線(直進)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直線(直進)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。

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磁気結合式導入機

強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。

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ベローズ式回転導入機

本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご…（つづきを見る）

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