アリオス株式会社:取扱製品・サービス一覧

超小型回転導入機　RFTシリーズ

強力な希土類磁石を用いた磁気結合構造により 連続高速回転に使用できる、超小型回転導入機 【特徴】 ○ベアリングを交換するだけで半永久的に使用可能 ○小型化設計にて取り付け場所を選ばない …（つづきを見る）

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ビューポートシャッター　SFシリーズ

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 　各…（つづきを見る）

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ロードロックハッチ　EDシリーズ

真空システムにサンプル等を 導入するために使用するロードロックドア 【特徴】 ○小型軽量化した設計により取り付け場所を選ばない ○フッ素ゴムシールにより高真空に対応 ○150℃までのベー…（つづきを見る）

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Zステージ　LMTシリーズ

各種コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により 　MBE装置等、各種超…（つづきを見る）

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XYZステージ　XYZシリーズ

3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により…（つづきを見る）

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トランスファーロッド　TRシリーズ

強力な磁気回路により回転、直線運動を 高トルクで真空内に導入できる、トランスファーロッド 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○CF仕様により、MBE 装置等、各種超高真空…（つづきを見る）

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チャッキングトランスファー　2TRW

2軸構造のマグネットカップリングにより チャッキング操作が行えるトランスファーロッド 【特徴】 ○強力な磁気回路により回転、直線運動を 　高トルクで真空内に導入できる ○オールメタルシ…（つづきを見る）

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マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー外付型の 有磁場型マイクロ波励起ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認可能 ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高…（つづきを見る）

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マイクロ波イオン源　EMIS-221C

ラミック放電管タイプで チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 　金属汚染…（つづきを見る）

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マイクロ波イオン・ラジカル源　IMIS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー内突き出し型の 有磁場型マイクロ波励起イオン・ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英製で、金属汚染の少ないイオン・ラジカルが得られる ○特殊なアンテナ構造、磁…（つづきを見る）

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超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新…（つづきを見る）

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RFプラズマ源　ERFS-500

無電極放電により 金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源 【特徴】 ○光学窓付きにより放電が目視確認できる ○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構…（つづきを見る）

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マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500

アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する アリオス社だからこそできる、柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製…（つづきを見る）

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RF　プラズマ実験装置　RFPC-550

アリオス社が取り扱う、RF13.56MHz励起プラズマ源を用いた プラズマ実験装置のご案内です プラズマ源を自社設計する、アリオス社だからこそできる柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、…（つづきを見る）

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