液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージ（セラミックス製）などがあります。
超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」
姿勢精度2秒以下の高精度を実現！検査装置の位置決めに好適な超精密XYステージ
「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライ…
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