神港精機株式会社 東京支店:カタログ一覧

R＆Dニーズから量産レベルまで、スパッタリングの幅広い用途をフルカバー

R＆Dニーズから量産レベルまで、スパッタリングの幅広い用途をフルカバー 【ラインナップ】 ●小型スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マル…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズ…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

SWPは従来の平行平板型RFプラズマよりも高密度で、ICPエッチング装置に近い高密度なプラズマが生成されております

石英表面に沿って表面波を伝播させ、プラズマ生成を行うことから、表面波プラズマ（SWP）と呼び、無磁場で高密度なプラズマを発生させる事が出来ます。SWPは従来の平行平板型RFプラズマよりも高密度で、IC…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

化合物半導体向け配線形成用途を目的として設計開発された蒸着システム

【商品説明】 化合物半導体向け配線形成用途を目的として設計開発された蒸着システム。高融点金属膜形成や厚膜形成時の蒸発源からの熱影響によるレジストの固着やパターン損傷など問題を解消。また冷却機構の効果…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

含水性排気のトラブルを解消した神港精機の水封式真空ポンプ

◆◇◆特徴◆◇◆ ◆封水のため、引火性ガスや腐食性ガスの排気も可能です。 ◆水封式なので、水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適です。 ◆2段式ポンプでは、3×104Pa以下で高性能を発揮…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

大きな耐久力、抜群の経済性で、あらゆる真空ニーズに 幅広く応える神港精機の油回転真空ポンプ

◆◇◆特徴◆◇◆ ◆耐久力が大きく、寿命が長い。 ◆排気特性が優れ操作が簡単。 ◆水蒸気の処理ができる。 ◆ガスバラスト弁を取付ける事により、凝縮性蒸気が凝縮して油と混濁して 　…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

最少の消費電力で最高の排気能力を発揮する 神港精機のメカニカルブースタポンプ

◆◇◆特徴◆◇◆ ◆排気特性がたいへん優れています。 ◆操作が簡単で、保守も容易です。 ◆長寿命です。 ◆コンパクトで、低振動です。 ◆クリーンな真空が得られます。 ◆…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

高排気効率で省電力設計、容積移送式の真空ポンプ

一対のねじ形状をしたスクリューローターの歯溝とケーシングで仕切られた空間の気体を ローターが回転することにより排気側へ移送する容積移送式の真空ポンプ ◆◇◆特徴◆◇◆ ◆独自設計の吹き抜け隙間の…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

廃油処理や排水処理を不要とし、油の交換作業やメンテナンスにかかる負担を軽減 独自開発のスクリュー形状が高排出性・高耐久性を実現

●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計によりハードプロセスにおいても 安定した運転を可能にします ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現しました。

SERIOは高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。 独自プロセス採用により、エッチング側壁のスキャロップ現象を抑制します。 電子分野からMEMS、ナノインプリント分…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

フラックスレス・ボイドレスの実装を実現！

真空中でハンダを溶融させることにより、はんだ中のボイドを除去します。また予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、フラックスレスはんだ付けを実現します。パワーデバイスの製造工程やフリップチ…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店