神港精機株式会社 東京支店:取扱製品・サービス一覧

エッチング／アッシングが同一装置で処理可能。プラズマエッチング装置

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズ…（つづきを見る）

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ドライコーティング！超薄膜！親水膜！

従来の表面処理では得られなかった表面機能を樹脂・金属・セラミックス上に付加できます。

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フラックスレス、洗浄レス半田バンプ形成を実現！

マイクロ波プラズマダウンフロー方式により発生した還元力の強い水素ラジカルのみを、基板表面に効率良く導きます。 この水素ラジカルが、はんだ層及びバリアメタルの酸化物を還元・除去します。 また、真空中…（つづきを見る）

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研究開発から量産までサポート！

信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の…（つづきを見る）

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大面積基板の高速エッチング・アッシング・表面処理が可能

石英表面に沿って表面波を伝播させ、プラズマ生成を行うことから、表面波プラズマ（SWP）と呼び、無磁場で高密度なプラズマを発生させる事が出来ます。SWPは従来の平行平板型RFプラズマよりも高密度で、IC…（つづきを見る）

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高品質でリフトオフ性に優れた薄膜作製を実現

化合物半導体向け配線形成用途を目的として設計開発された蒸着システム。高融点金属膜形成や厚膜形成時の蒸発源からの熱影響によるレジストの固着やパターン損傷など問題を解消。また冷却機構の効果によりサイクルタ…（つづきを見る）

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独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現！

SERIOは高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。 電子分野からMEMS、ナノインプリント分野における高アスペクトエッチングに最適なシステム構成です。

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フラックスレス・ボイドレスの実装を実現！

真空中でハンダを溶融させることにより、はんだ中のボイドを除去します。 また予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイスの製造工程やフ…（つづきを見る）

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含水性排気のトラブルを解消した神港精機の水封式真空ポンプ

下記の特殊仕様水封式ポンプもございます。 ●封液循環方式真空ポンプ 有害ガスの流出を防ぐ無公害排気システム ●オールステンレス製水封式真空ポンプ 腐食性ガスに対しても材質の変化が少なく…（つづきを見る）

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大排気量ながらコンパクトな真空ポンプです。 抜群の堅牢性を持ちます。

油回転ポンプは、大気圧から0.13〜0.01Paまでの気体を圧縮して、 大気中に排出する経済的なポンプとして広く使用されています。

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最少の消費電力で最高の排気能力を発揮する 神港精機のメカニカルブースタポンプ

大排気量化、高真空領域までの到達を可能にするメカニカルブースタ ●SMB-Cシリーズ 堅牢な鋳物製 ●SMB-Dシリーズ 軽量化、小形化、無塵化に対応 ●SMB-DMシリーズ …（つづきを見る）

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高排気効率で省電力設計

一対のねじ形状をしたスクリューローターの歯溝とケーシングで仕切られた空間の気体を ローターが回転することにより排気側へ移送する容積移送式の真空ポンプ

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