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同軸バレル型プラズマ装置
半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。 量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。
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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」など…
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消費者の動向から地球環境を考えたビジネス！企画・開発・提案力を重視！
ヤマトマテリアル株式会社は、主に「容器・包装」「生産システム」 「エレクトロニクス関連商品」の各事業分野をフィールドとする 専門商社です。 半導体・エレクトロ二クス分野の検査・梱包から生産設…
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特殊環境対応の水銀灯代替LED照明です。電力使用量の大幅削減に貢献いたします。
工場や屋外施設、看板照明に使われている水銀灯をLED化することが電力使用料（経費）の大幅削減に大きく貢献します。 ・オイルミスト対応（金属部品工場、機械工場、その他油煙環境） ➣JIS K２２４…
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大気圧プラズマ装置
従来の減圧プラズマに加え、大気圧（常圧）プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。
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全ての内部情報を三次元化！計測機能付3DX線CT
非破壊内部検査の常識を覆す最高レベルの解像度、コントラストを提供します。断層画像収集から計測・解析まで１システムで完結。標準・高速・高精度のモード別スキャンで、データを最速１６０秒で収集。Ｘ線ＣＴ装置…
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小型卓上タイププラズマ装置 PiPi（ピピ）
・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用
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気密防水性能試験器
歪検出方式を採用した、気密防水性能試験器です。ワークの周囲を加圧した際に生じる、ワーク表面の歪を測定することにより気密防水性能試験を行います。空圧を利用した非水没方式の為、不良ワークを浸水により破損す…
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50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。
高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格…
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3軸フィーリング精密測定機
３軸フィーリング（荷重）精密測定機（ロードセル） 押す、引く、ねじる力（荷重）の定量測定。
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プラズマドライクリーナー プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置
ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー
・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付…
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- 表示件数
- 45件
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