日本エリコンライボルト株式会社 横浜本社:取扱製品・サービス一覧

色々な真空アプリケーションに。　低価格・低騒音・低振動　 高信頼のロングセラー真空ポンプです！

◆ 低騒音の達成 ◆ 国際規格対応 ◆ 多くのラインナップ　各種ニーズに対応（サイズ、防爆、水冷、空冷） ◆ ポンプサイズ　10ｍ2 - １２００ｍ2 ◆ 低振動 ◆ 排気フィルター内蔵でオ…（つづきを見る）

• 日本エリコンライボルト株式会社 横浜本社

耐久性に優れた２段式油回転ポンプです。

◆コンパクトな設計 ◆軸受部は強制潤滑 　　（大気圧での連続運転可能） ◆ 吸・排気ポートの角度変更可能 　　（水平・垂直）　＊D16Bタイプを除く ◆ オイル逆流防止弁付き

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高性能、高信頼性、低騒タイプで、幅広いアプリケーションにお使いいただけます。

◆ 到達圧： 4x10-2 Pa (4x10-4 mbar) ◆ 水蒸気許容量大 ◆ 低振動・低騒音 ◆ オイルフィルター内蔵 ◆ オイル逆流防止弁内蔵

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２台のルーツポンプと２段式ロータリポンプの組み合わせにより、高真空領域にも到達可能です。

◆ 頑丈な構造 ◆ コンパクトな設計 ◆ オイル潤滑ベアリング使用 ◆ 運転音が小さい ◆ ポンプ室の潤滑不要 ◆ 信頼性が高くメンテナンス部品が少ない ◆ 分解容易

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本シリーズは、世界で最初にセラミックベアリングを採用したターボ分子ポンプとして、高い評価をいただいております。

◆ 高い信頼性（MTBF > 25000時間） ◆ 長期間メンテナンスフリー ◆ 取付方向任意 ◆ 低振動 ◆ 小型・軽量（つづきを見る）

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本機は、主にコーティングプロセスにおけるガス処理を主用途として設計されたポンプです。

◆ コーティングプロセスにおけるガス負荷に対応 ◆ 高い信頼性 ◆ メンテナンスが容易 ◆ 組込み型コンバータ ◆ 軽量・小型 ◆ 取付方向任意

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高精度、長持ち、素早い起動！さらに簡単メンテナンスの高性能検査機器。

高精度のリーク検査を実現。検査終了後１分以内で移動可能です。ターボ分子ポンプのメンテサイクルは2万時間。■高測定精度■高感度■高排気速度■簡単操作■始動時間：2分以内、停止時間：30秒以内■ヘリウム汚…（つづきを見る）

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新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！

【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度　６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０）、２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度…（つづきを見る）

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高純度ヘリウム配管のリークをチェック！極微少なリークチェックが可能

リークテスト装置に関するご相談も承っております。 お気軽にお問い合わせください。

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５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応

高い評価をいただいていた ＴＵＲＢＯＶＡＣ ３４０Ｍ の後継機種です。コントローラ搭載型に加え、新たにセパレートタイプもラインナップに加わりました。５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応です。

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機械的／熱衝撃に対しても抵抗力のある新シールシステムを採用。

次世代型メカニカルベアリング式ターボ分子ポンプがＴＷシリーズの後継機種として販売開始されました。

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新しいロータリベーンポンプ

日本エリコンライボルト株式会社より「SOGEVAC」のご案内です。

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アクティブ磁気浮上システムおよびコントローラ一体型広域ターボ分子ポンプ

日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。

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セラミックボールベアリングタイプ

日本エリコンライボルト株式会社より「TURBOVAC 50」のご案内です。

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