アステック株式会社:取扱製品・サービス一覧

最も厳しいRF電力ニーズにも対応！良質な高周波機器のカタログセット

＝＝＝　その他の取り扱い製品　＝＝＝ ・高周波電源 ・DC電源 ・プラズマ用可変低周波電源 ・プラズマ用各種電源 ・プラズマ用可変低周波・高周波電源 ・インピーダンス手動整合器 ・インピ…（つづきを見る）

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CESAR RF 電源・LFGS周波数可変LF電源

プラズマ・プロセスに必要なRF/LFパワー dressler社製　RF/LF電源 【特徴】 ○少ない部品点数、シンプルな設計 ○使いやすさを追求、ユーザーフレンドリーな 　 動作データへ…（つづきを見る）

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プラズマ用可変低周波電源LGシリーズ

良質な低周波電力を供給 プラズマ用可変低周波電源 【特徴】 ○最大出力時でも出力波形が飽和しないため、 　 プラズマ・チャンバの電極間に十分な高周波電界を発生。 ○有害な高周波出力を抑制…（つづきを見る）

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イー・エヌ・テクノロジー社製各種DC電源のご紹介です

下記説明で不明な点がありましたら、お問合わせ下さい。

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セレン社製　プラズマ用可変低周波・高周波電源

多機能・小型・軽量化を実現 セレン社製　プラズマ用可変低周波・高周波電源 【特徴】 ○定格出力とその1/10出力をフルスケールに設定し高精度な制御 ○進行波電力または負荷電力をコントロール…（つづきを見る）

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インピーダンス手動整合器

大変廉価で実験装置や小規模生産装置などに便利 インピーダンス手動整合器 【特徴】 ○自動整合器と比べ大変廉価 ○マルチターンダイヤルで微調整・正確な位置表示 ○100KHz〜100MHz…（つづきを見る）

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Fシリーズ　インピーダンス自動整合器

ステッピングモーター採用 高速・高精度整合なプラズマ用自動整合器 【特徴】 ○ステッピングモーター使用 ○負荷インピーダンス表示 ○シリアルコントロールにより 　 整合器単体での動作が…（つづきを見る）

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Bシリーズ　インピーダンス自動整合器

高速初期整合、高速連続整合、高精度整合可能 プラズマ用自動整合器 【特徴】 ○広範囲なインピーダンス・カバー ○多周波数化 ○容量結合と誘導結合 ○チャンバで発生する高調波除去フィルタ…（つづきを見る）

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SPICパルスDCパワーコントローラ

特許申請済の最新パルステクノロジーを駆使 パルスDCパワーコントローラ 【特徴】 ○最高繰り返し周波数50KHz ○高密度プラズマの実現 ○オンタイム、オフタイムを最適値に個別に設定 …（つづきを見る）

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センサー・表示部分が一体で2つをつなぐケーブルの損傷は起こりません！MAX 50kWまで通過型で測定可能！

アステック社が取扱う 通過型ハイパワーセンサ一体型パワーメーターのご紹介です

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完全自動運転、デジタル位相差表示。

本自動フェイズシフタは、オートモードで複数電源を同期運転するシステムの基準となるプラズマ用電極と、それ以外の電極に発生するRF電圧の位相差を自動的に一定の値にします。電極の電圧の一部を取り出すRFプロ…（つづきを見る）

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強電界磁界中でも測定可能なハンディタイプ光ファイバー式温度計

【商品説明】 　従来の温度計（熱電対、測温抵抗体）では、測定困難な高周波、 　マイクロ波、強磁場、高電圧環境下も、電界磁界の影響を受けずに 　正確な温度測定を可能にする光ファイバー式温度計です。…（つづきを見る）

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強電界磁界でも影響を受けない温度計。0.3secの高速応答。

【商品説明】 　従来の温度計（熱電対、測温抵抗体等）では、測定困難な高周波マイクロ波、強磁場、高電圧環境下も、電界磁界の影響を受けずにリアルタイムに正確な温度測定を可能にする光ファイバー式温度計です…（つづきを見る）

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T／Guard光ファイバー式温度計

電界磁界の影響皆無はもちろんのことオイルフィールド環境下でも耐油浸性、振動性にも優れた性能を有していますので、長期間安定した温度監視システムをご提供できます。

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