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最終更新日:2004/11/10

ペガサスソフトウェア株式会社

業種:ソフトウェア  所在地:東京都 中央区 八丁堀4丁目2番2号 共同ビル5階

ペガサスソフトウェア株式会社 日本 1040032 東京都 中央区 八丁堀4丁目2番2号 共同ビル5階 03-3553-7211
  • 30年にわたる科学技術計算/解析技術を駆使し、真空/プラズマ/希薄気体及び、気体エレクトロニクス分野における物理現象を解析するソフトを自社開発/販売を志して独立した企業です。私どもでは創造力、開発力、技術力そして競争力を企業精神としております。
    プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツールPEGASUSは、機能別のモジュールで構成されるソフトウェア群を総称したものです。大別して2つのモジュール群から構成されます。
    それは『気相状態をシミュレートするモジュール群(2次元気相シミュレータ)』と『基板の表面の状態/形状をシミュレートするモジュール群』(表面科学系シミュレータ)の2つです。
    各モジュールは単体で稼動し、個別の結果を出力いたします。また、各モジュールは組み合わせることができ、出力結果などを相互に入力し合い最終的な結果を出力できます。
    つまり、お客様のニーズにあったモジュールを組み合わせ(選択し)最小の投資で最大の効果を得るとこができるよう設計させております。
    ■2次元気相シミュレータ■
    装置内の、プラズマ(イオン、電子)や中性粒子(装置内を流れるバッファガスやプラズマにより生成したラジカル種)の分布等を計算するモジュール群です。
    ○プラズマ・ハイブリッド・モジュール(PHM)
    ○プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール(PIC-MCCCM)
    ○中性粒子連続体モジュール(NMEM)
    ○中性粒子DSMCモジュール(DSMCM)
    ○静磁場解析モジュール(MSSM)
    ■表面科学系シミュレータ■
    ターゲット(半導体ウエハや種々の薄膜の表面)の状態
    について計算するためのモジュール群です。
    ○表面形状シミュレーション・モジュール(SPSM)
    ○シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール(SMCSM)
    ○動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア(SASAMAL)
    ○スパッタリング・シミュレーション・モジュール(SPUTSM)
    ○イオン注入シミュレーション・モジュール(IPSM)
    ■ユーザーインターフェイス■
    PEGASUSに標準搭載のGUIは、各モジュールの実行制御や、プリプロセッサ、ポスト処理を行うためのものでGUIMと呼ばれます。PEGASUSの全てのモジュールは、このGUIMを通して実行することが出来ます。
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取扱製品・サービスペガサスソフトウェア株式会社

取扱製品・サービス一覧

取扱製品・サービスは1件あります。

企業情報ペガサスソフトウェア株式会社

会社名 ペガサスソフトウェア株式会社
所在地 〒1040032
東京都 中央区 八丁堀4丁目2番2号 共同ビル5階
TEL:03-3553-7211  FAX:03-3553-7212
  • ※ お電話でのお問い合わせの際は、「イプロスを見て連絡しました」とお伝えいただくとお話がスムーズに進みます。

ペガサスソフトウェア株式会社の社屋画像です

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事業内容

真空/プラズマ/希薄気体技術分野での物理現象を解析するシミュレーションソフトウェア;PEGASUS(プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール)を、自社独自で開発し販売しています。またそれに伴う技術受託解析や特殊カスタマイズ、特注ソフトウェア開発も行います。
PEGASUSは、真空中での粒子挙動、プラズマ挙動、デポジション/エッチング挙動などを解析でき、これは、半導体、ディスプレー、光学、電気、電子、ITそして環境関連産業などの分野で利用される、蒸着、CVD、スパッタ、イオンプレーティング、ドライエッチングそして表面改質などの薄膜技術の製品開発をおこなう技術者/研究者にとって
『装置の設計・開発・改良・評価』
『材料、デバイスの開発・製造』
『プロセス技術の予測・開発・改良』
の効率化、実験及び試作コストの軽減を目的とした支援シミュレーションソフトウェアとなります。

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