株式会社大阪真空機器製作所:取扱製品・サービス一覧

分析装置・計測システムへの搭載に最適な高性能ターボ分子ポンプです

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とさ…（つづきを見る）

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メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれ…（つづきを見る）

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液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により…（つづきを見る）

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真空システム

大阪真空社では、「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」 を提供する事をモットーとして、 多彩なラインアップをもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベ…（つづきを見る）

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油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 　 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間…（つづきを見る）

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簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○…（つづきを見る）

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真空装置

大阪真空社の清浄高真空分野への取り組みは、 理化学研究分野をはじめ 半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーの…（つづきを見る）

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成膜装置搭載に最適なマルチワイドレンジ対応ターボ分子ポンプ

【特長】 ■排気性能 　排気速度 N2 2,200L /s 到達圧力 ＜ 5 × 10-7 Pa ■マルチモード機能搭載 　標準・大流量・超大流量の3モードから、用途に合わせた運…（つづきを見る）

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ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。

標準組合せで簡単にお使い頂ける他、ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。

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エジェクタは、気体（水蒸気等）や、液体（水等）を駆動源とする真空ポンプです。

蒸気エジェクタは、気体を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。構造が簡単で故障が少なく、扱いやすいのが特徴です。 また、エジェクタを直列に数段配置することで、より高真空の領域まで到達するこ…（つづきを見る）

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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

エジェクタは機械的駆動部が無いシンプルな構造の為、故障の発生がほとんどありません。

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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終…（つづきを見る）

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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 …（つづきを見る）

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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造 　 構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製…（つづきを見る）

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