株式会社大阪真空機器製作所:ターボ分子ポンプの製品一覧

分析装置・計測システムへの搭載に最適な高性能ターボ分子ポンプです

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とさ…（つづきを見る）

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成膜装置搭載に最適なマルチワイドレンジ対応ターボ分子ポンプ

【特長】 ■排気性能 　排気速度 N2 2,200L /s 到達圧力 ＜ 5 × 10-7 Pa ■マルチモード機能搭載 　標準・大流量・超大流量の3モードから、用途に合わせた運…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）

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広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！

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取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。

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取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。

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