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最終更新日:2012/01/05

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掲載開始日:2012/01/05

高気密、長寿命の新スクロール式ドライ真空ポンプ発売

スクロール式ドライ真空ポンプ

  • スクロール式ドライ真空ポンプ

ベアリングを圧縮チャンバーと完全に隔離した設計の、新しいスクロール式ドライ真空ポンプを発売します。外部からの影響を完全にシャットアウトするこの構造が、本スクロール式ドライ真空ポンプ「Fossa」の長寿命に繋がっています。希ガスや高純度の再生ガスの吸引に最適です。

主な用途:不活性ガス処理、ロードロック、トランスファー・チャンバー、ヘリウムリークディテクター、研究所、分析装置、質量分析計、電子顕微鏡 等

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