掲載開始日:2012/01/05
高気密、長寿命の新スクロール式ドライ真空ポンプ発売
- スクロール式ドライ真空ポンプ
ベアリングを圧縮チャンバーと完全に隔離した設計の、新しいスクロール式ドライ真空ポンプを発売します。外部からの影響を完全にシャットアウトするこの構造が、本スクロール式ドライ真空ポンプ「Fossa」の長寿命に繋がっています。希ガスや高純度の再生ガスの吸引に最適です。
主な用途:不活性ガス処理、ロードロック、トランスファー・チャンバー、ヘリウムリークディテクター、研究所、分析装置、質量分析計、電子顕微鏡 等
関連資料
- FOSSA_0015A_J.pdf[520KB]
日本ブッシュ株式会社
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