エッチング装置の製品一覧

大学や研究機関に 多数の実績！バイオケミカルから半導体まで対応　低コストの小型低圧プラズマ装置！　

大型の製造装置としてのプラズマ装置は保有していても、生産に使用するためプロセス開発に使用できない。厳密なパラメータより直ぐに使えることが大事。取扱の簡単な装置が欲しいが手間がかからない方が良い。設置場…（つづきを見る）

• テクノアルファ株式会社

高純度のXeF2（2フッ化キセノン）

ドライエッチング装置のエッチングキャリアガスとなる。また装置のクリーニング材として効果的で使いやすい。 常温では白色の固体ガス。

• 株式会社テックサイエンス

IPAベーパーからスピンドライヤーまで各種乾燥装置を取り揃えております。

ウエハーサイズ、用途、予算等によりカスタマイズし、製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

低エネルギーで均一なイオンビームを発生し、サンプルのクリーニングに使いやすい

試料のクリーニングとAUGERデプスプロファイル用エッチングに開発されたスパッタイオン銃です。静電レンズによってイオンビームのフォーカスと加速の効果を高めます。直径5-10ｍｍの均一で高密度な不活性ガ…（つづきを見る）

• 株式会社テックサイエンス

高電流密度によって高速エッチングができる高精度イオンソースです。

エッチングイオンソースは、高電流密度にて高速エッチングができるイオン源です。AES/ESCA分析における試料クリーニング及びエッチング深さプロファイル分析用の製品です。動作距離25mm、ビーム径0.4…（つづきを見る）

• 株式会社テックサイエンス

タンク形状、用途、予算によりカスタマイズし、製作いたします。

少量から大容量、及び各種薬液により設計製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

手動から全自動まで独自オプションによる最適な剥離洗浄を提供します。

使いやすく、コストダウンにも配慮してご提案します。前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプもご用意できます。スループットを考慮したACサー…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

超音波洗浄設備の音圧を監視するシステム

洗浄に最適な超音波条件を設定するだけで管理できますので、超音波の故障、劣化、人為的ミス等による品質トラブルを解消いたします。超音波強度検出センサーを洗浄槽に固定する為、随時異常の検出を行えます。

• 株式会社ダルトン

排気される薬液ミストを抑え、排気ダクトを保護

ダルトンでは半導体洗浄装置の経験と排ガス処理装置の経験からそれに着目し、溶剤ミスト回収装置を開発いたしました。この装置を洗浄装置の排気口に取り付け、装置を経由して配管スペースの排気ダクトに接続すること…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

大幅なランニングコストの削減！フィルターメンテナンスフリー

リフトオフ工程や、その他液中内で固形異物（カス）が発生する工程においてフィルターメンテナンフリーを実現しています。循環ラインまたは液の流れる配管中にISF systemを入れるだけ！従来使用していたフ…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

エッチング液の使用量を抑えた枚葉式のスピン洗浄機です。

独自の構造により、ワーク裏面への液のまわり込みを窒素圧で封じ込めます。また、従来の横洗浄／エッチング方式以外に、装置寸法をコンパクトに設計できる縦型洗浄／エッチング方式も採用しています。チャックの工夫…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

ダルトンでは長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様でご提案しています。

使いやすく、コストダウンにも配慮してご提案します。前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプもご用意できます。スループットを考慮したACサー…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

バッチ・枚葉の併用で「より早く、より確実」な仕上がり

剥がれにくい強固なメタル膜もバッチ処理でディップし、剥離後ウェット状態のまま高圧スプレーで剥離カスを全て除去します。従来方式よりスループットの向上が望めます。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

エアロゾルジェット印刷機

エアロゾルジェット印刷は、霧状にした材料を加圧して印刷する技術です。高粘度な導電性インク/ペーストを細く立体的に連続してパターニングできる特徴があります

• アルテック株式会社