蒸着装置の製品一覧

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験が…（つづきを見る）

• 株式会社コスモ・サイエンス

カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します。

石英管や石英ポート、ステンレス治具まで形状に合わせて設計製作します。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

改善成功事例　事例3　有機材料開発用蒸着装置　KVD-OLED Evo.Cluster

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

有機材料（高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着源です。

本製品は、精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。

• 北野精機株式会社

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。本製品は、長い距離（500mm～1000mm）での試料等の搬送を行う際に最適です。マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。本製品は、長い距離（500mm～1000mm）での試料等の搬送を行う際に最適です。マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

●特徴 本装置は10-8Pa以下の超高真空中に置いた基板を加熱し、基板上に堆積させたい原料を独立に供給して基板上に結晶を成長させる真空蒸着法で、蒸発原料に固体を使用して分子線蒸着源（クヌーセン・セル…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有機材料及び金属材料の共蒸着が可能です。

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

有機材料開発用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動式のクラスター型成膜装置の完成形です。

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャ…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

有機材料開発用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャン…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

改善成功事例　事例1　有機蒸着セル　KOD−cell

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型有機蒸着セルを使用していた。しかしながら、 大型ならではのルツボ容量が大きいと言うこともあり、温度安定性と材料効率が 非常に悪く悩んでいた。有機材料に…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

◆◇◆経緯◆◇◆ 従来使用している金属蒸着方法は、ボート式であり、金属膜を蒸着する際に、 100A以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、 大電流を使用す…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、…（つづきを見る）

• 北野精機株式会社

PBN製【高純度ルツボ】ご要望に応じた形状にて都度設計製作致します。

PBN（窒化ホウ素）ルツボは、高耐熱性・熱伝導性に優れ、更に熱衝撃にも強く、加工性にも優れた高純度ルツボです。ご要望に応じた形状にて都度設計製作承ります。

• テルモセラ・ジャパン株式会社