ウエハ加工/研磨装置の製品一覧

ポリアセタール、エラストマーのモールドデポジットが良く落ちる！超音波洗浄機

従来洗浄が難しいとされていた、ポリアセタール・エラストマー等の樹脂被膜が洗浄可能で、金型メンテナンスの時間が大幅に短縮可能。 金型以外の洗浄も対応が可能な高機能タイプ。 【特長】 ・汚れの再…（つづきを見る）

• 三和商工株式会社

汚れたＳＵＳ・アルミ搬送ガイドロールを新品同様に！研磨加工サービス

〜表面不具合ロールにおける外径研磨〜 従来から使用している搬送用ＳＵＳ・アルミ製ガイドロール表面が傷・腐食跡や汚れ染み等により使用不可となったロールが、弊社の技術によりロール表面が新品同様に蘇ら…（つづきを見る）

• 株式会社都ローラー工業

低エネルギーで均一なイオンビームを発生し、サンプルのクリーニングに使いやすい

試料のクリーニングとAUGERデプスプロファイル用エッチングに開発されたスパッタイオン銃です。静電レンズによってイオンビームのフォーカスと加速の効果を高めます。直径5-10ｍｍの均一で高密度な不活性ガ…（つづきを見る）

• 株式会社テックサイエンス

半導体　EFEM

メイキコウのクリーンロボットの清浄度はクラス10（液晶パネル）&クラス1（ウェーハ）、究極のハンドリングを実現しています。 メカトロ技術に限りない清浄度を追求した半導体・液晶パネルの製造工程…（つづきを見る）

• 株式会社メイキコウ

卓上型　簡易露光装置

視角2.2度のレンズにより、卓上での簡易露光装置としてご使用いただけます。 光源はUVランプ、DeepUVランプから選択いただけます。

• ウシオ電機株式会社

化合物半導体(LED、LD)、MEMS、SAWデバイス製造で使われるリフトオフ装置およびレジストコータ／デベロッパ

化合物半導体に要求される省スペース化やハンドリングの安定性、マイクロマシンに要求されるような高粘度薬液への対応等、カスタマイズ要素が多い装置を提供しています。またお客様のニーズにあった装置も提供してい…（つづきを見る）

• 三井物産エレクトロニクス株式会社

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 　表面…（つづきを見る）

• 株式会社メープル

エッチング／アッシングが同一装置で処理可能。プラズマエッチング装置

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズ…（つづきを見る）

• 神港精機株式会社 東京支店

シェル＆チューブ　ラウンドタイプPVC製シェル

SUPER　PFAを伝熱管に使用しております。 高純度薬液の加熱・冷却に最適です。

• 株式会社セラ

豊富なラインナップをご用意

スタンダードタイプE-18・樹脂皮膜除去に最適なPO-18・頑固な汚れの除去にA-18・サビを抑えて金型長持CCL

• 三和商工株式会社

金型や工具の寿命を数倍に

超硬金属などで被覆層を作り、あらゆ る金型や切削工具などを長持ちさせる放電被覆装置。短時間で加工でき、金型および工具の寿命を大幅にのばします。

• 三和商工株式会社

より高出力の放電被覆が可能

放電被覆装置の強力タイプ。厚めの被覆層もすばやく加工でき、金型や工具、また機械の磨耗しやすい部分の寿命を大幅に伸ばします。

• 三和商工株式会社

少量の洗浄液で効率よく洗浄が行えるエコノミーモデル

「U300」の洗浄槽は小さい金型に適したサイズで、少量の洗浄液で効率よく洗浄が行えるコンパクトモデルです。洗浄に必要な液量は最大でわずか18リットル。低ランニングコスト化に貢献。

• 三和商工株式会社

コンパクトでシンプル設計の超音波金型洗浄機

機能を絞ったシンプル設計の洗浄機「TYPE-2」。シンプル設計ながら循環ポンプ、制御付き加熱ヒーターやデジタルタイマーなどを装備。

• 三和商工株式会社