- エキシマレーザー微細加工装置
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- 最終更新日:2010/10/01
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- 卓上に設置できるコンパクトなエキシマレーザー微細加工装置です。
- ビーム株式会社
- 紫外波長であるエキシマレーザーを光源とすることにより、優れた加工品質を得ることができます。
高分子樹脂・薄膜、金属薄膜、ガラス材料などの加工に有効です。 -
エキシマレーザー微細加工装置 基本情報
小型エキシマレーザーを搭載した「ProMaster」は卓上に設置できるコンパクトな微細加工システムです。
縮小投影倍率は10倍に固定され、PC上から32種類のマスクモチーフを設定、リアルタイムで加工をモニター上で観察できます。
CADのDXFファイルやテキスト座標ファイルから容易に加工プログラムを作成できるため、プログラム実行中は他の作業を行うことができます。
少ない設置面積で高品位な加工を手早く行うには最適な装置です。
●小型エキシマレーザーを搭載
波長193nm、最大出力3W , 300Hz
波長248nm、最大出力5W , 300Hz
●省スペース加工光学系
縮小倍率10倍固定ながら非常にコンパクトな設計です。
Z軸調整機構やマスクセレクターも搭載されています。
●リアルタイムモニター画面
同軸上CCDモニター(約300倍)
●同軸投射照明
加工レンズと同軸の照明で加工面を確実に照らします。
●多機能な制御ソフトウエア
・加工部モニター画面
・加工寸法簡易測定
・プログラミング加工対応など。
※詳細は資料請求からお問い合わせください。
| 価格 |
- |
|---|---|
| 価格帯 | その他 |
| 納期 | |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 用途/実績例 | カテーテル微細加工、マイクロ流路加工、薄膜除去加工、微小穴あけ加工など |
| よく使用される業種 | 民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、教育・研究機関 |
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