- 大流量・高圧縮型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ ＴＧ３４６０Ｍ
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- 最終更新日：2007/07/30
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- 蒸着、スパッタリングなどに最適な磁気軸受形ターボ分子ポンプ
- 株式会社大阪真空機器製作所
- 大流量と高圧縮を両立したターボ分子ポンプです。
・TMP同クラス比較でNO.1の水素圧縮比(30,000)を達成し、排気速度(2700L/s)も同クラス比較でトップクラスです。
・水素排気性能が大幅に向上したことにより水素分圧を下げることができ、品質向上に貢献します。
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大流量・高圧縮型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ ＴＧ３４６０Ｍ 基本情報
大流量と高圧縮を両立したターボ分子ポンプです。
・TMP同クラス比較でNO.1の水素圧縮比(30,000)を達成し、排気速度(2700L/s)も同クラス比較でトップクラスです。
・水素排気性能が大幅に向上したことにより水素分圧を下げることができ、品質向上に貢献します。
| 価格 |
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|---|---|
| 価格帯 | その他 |
| 納期 | |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 型番・ブランド名 | TG3460M |
| 用途／実績例 | 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどのPVD用途に最適です。 |
| よく使用される業種 | 産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定 |
大流量・高圧縮型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ ＴＧ３４６０Ｍのカタログ
ＴＧ３４６０Ｍ カタログ
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- 大流量と高圧縮を両立したターボ分子ポンプです。
・TMP同クラス比較でNO.1の水素圧縮比(30,000)を達成し、排気速度(2700L/s)も同クラス比較でトップクラスです。
・水素排気性能が大幅に向上したことにより水素分圧を下げることができ、品質向上に貢献します。 - [PDF:289KB]
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- 大流量と高圧縮を両立したターボ分子ポンプです。
大流量・高圧縮型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ ＴＧ３４６０Ｍ 取扱い会社
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