GaN-MOCVD装置

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GaN-MOCVD装置

日本パイオニクス株式会社

高い原料効率をもったハイエンド向け大口径基板・多数枚対応GaN-MOCVD装置を
完成しました。
GaN-MOCVD RKY-2000,RKY-3000シリーズは紫外、青色および白色LEDの量産に貢献します。

■ヒーター
　抵抗加熱型カーボンヒーターを採用。ヒーターを反応ガスから隔離する構造とし
　ヒーターの長寿命化を実現。

■サセプター
　フェースダウン方式ならびに回転比を可変できる自公転方式を採用し、高品質な成膜を実現。

■サセプター高温搬送システム
　成膜後、ロボットにより高温下でサセプターの入替えを可能とし、生産性向上を実現。

■成長圧力
　成長圧力は1/8気圧から1気圧まで任意に設定可能。

■高い原料効率
　常圧条件下20％を超える原料効率を達成し、ランニングコストの削減に寄与。

※詳細はお問い合わせください。
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GaN-MOCVD装置　基本情報

高い原料効率をもったハイエンド向け大口径基板・多数枚対応GaN-MOCVD装置を
完成しました。
GaN-MOCVD RKY-2000,RKY-3000シリーズは紫外、青色および白色LEDの量産に貢献します。

■ヒーター
　抵抗加熱型カーボンヒーターを採用。ヒーターを反応ガスから隔離する構造とし
　ヒーターの長寿命化を実現。

■サセプター
　フェースダウン方式ならびに回転比を可変できる自公転方式を採用し、高品質な成膜を実現。

■サセプター高温搬送システム
　成膜後、ロボットにより高温下でサセプターの入替えを可能とし、生産性向上を実現。

■成長圧力
　成長圧力は1/8気圧から1気圧まで任意に設定可能。

■高い原料効率
　常圧条件下20％を超える原料効率を達成し、ランニングコストの削減に寄与。

※詳細はお問い合わせください。

価格	-
価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
用途／実績例	※詳細はお問い合わせください。
よく使用される業種	鉄/非鉄金属、産業用機械、産業用電気機器、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、IT・情報通信、医薬品・バイオ、製造・加工受託、教育・研究機関、官公庁

GaN-MOCVD装置　取扱い会社

日本パイオニクス株式会社詳細

当社特許「パラジウム膜透過法」の技術を基にした「水素高純度精製装置」の製造・販売ヲスタートしました。その後、触媒技術や吸着技術を確立して、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム等の各種ガスの精製装置の製造・販売に展開しました。また、特殊材料ガスの精製器「パイオフアイン」や毒性ガスを除害する「排ガス処理装置「パイオクリン」の開発・製品化を展開しております。

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