エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 パイオファインカートリッジ(半導体用ガス精製器)

半導体用ガス精製器です。

独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。

【特長】
・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を
 実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能です。
・高性能フィルターおよび出荷前のベーキング処理によりパーティクル/脱ガスについての
 万全の対策を施しています。
・特別なユーティリティの必要はありません。(N型、B型は再生可能です。)

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基本情報パイオファインカートリッジ(半導体用ガス精製器)

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価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 MODEL-PF
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カタログパイオファインカートリッジ(半導体用ガス精製器)

取扱企業パイオファインカートリッジ(半導体用ガス精製器)

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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

当社特許「パラジウム膜透過法」の技術を基にした「水素高純度精製装置」の製造・販売ヲスタートしました。その後、触媒技術や吸着技術を確立して、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム等の各種ガスの精製装置の製造・販売に展開しました。また、特殊材料ガスの精製器「パイオフアイン」や毒性ガスを除害する「排ガス処理装置「パイオクリン」の開発・製品化を展開しております。

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