ジャパンクリエイト株式会社 スピンドライヤー(乾燥機)
- 最終更新日:2014-06-23 14:17:32.0
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〜概要〜
・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。
・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。
・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。
基本情報スピンドライヤー(乾燥機)
〜概要〜
・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。
・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。
・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。
・特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止しています。
・特殊仕様/ガラス基板、セラミック基板系のスピン乾燥機も製作しています。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | スピンドライヤー(乾燥機) |
用途/実績例 | 1.半導体業界:シリコンウエハーやマスクのスピン乾燥 2.液晶業界 :ガラスのスピン乾燥 3.基板業界 :セラミックス基板、エポキシ基板、ガラス、フイルム基板のスピン乾燥 4.ハードヂスク : 洗浄後のスピン乾燥 5.レンズ :レンズの洗浄後のスピン乾燥 |
カタログスピンドライヤー(乾燥機)
取扱企業スピンドライヤー(乾燥機)
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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