【導入事例】ウエハ検査と欠陥原因の特定が、誰にでも簡単かつスピーディに

【導入事例】ウエハ検査と欠陥原因の特定が、誰にでも簡単かつスピーディに　基本情報

導入事例

クライアント：半導体製造メーカーE社 製造部門
導入製品：電動検査顕微鏡

『チップの検査漏れが発生！欠陥原因の特定にも時間がかかってしまう』

■□■導入経緯■□■

Sさんは、半導体製造メーカーE社の製造ラインで最終出荷検査の責任者です。
量産されるウエハを大量にかつ高速に検査するために自動検査装置を
導入しています。自動検査装置で欠陥の見つかったウエハは取り出され、
原因を究明するために顕微鏡での検査に回されます。

画像検査担当者は回されてきた欠陥ウエハを顕微鏡で観察することになります。
ところが、顕微鏡に不慣れな担当者だと何番目にあるチップを見ているのか
分からなくなったり、ステージ操作を誤りうっかり幾つか飛ばして
しまったことに気づかないこともしばしば。
こうなると、再度初めからやり直さなくてはなりません。

このままでは品質問題が生じかねないこの状況を、
一体どう解決したらいいのか・・・。

⇒導入経緯の続きはHPをご覧下さい。