質量ガス分析計

質量ガス分析計の製品画像です
半導体製造の真空プロセスを秒間隔でモニタリング　正確なデータを提供

インフィコン株式会社

Transpector 2
コンタミネーションコントロールに、すぐれた感度を発揮します。半導体製造の現場において、真空プロセスのモニタリング、プロセス診断、およびリーク検出に対する正確かつ信頼性の高いデータを提供します。

Transpector XPR3
複雑な差動排気の機構を必要とせず、ＰＶＤプロセス時のガス分析を実現しました。10ppMまでの分解を実現。またフィラメント保護用のピラニゲージを備えています。

Transpector CPM2
コンパクトな差動排気のついたオリフィスの切替を備え、広範囲なプロセス圧力に対応し、1ppMレベルを可能にしたガス分析計です。プロセス圧モニタ、インターロック用のキャパシタンスマノメータを備えています。
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質量ガス分析計　基本情報

【代用的商品と特徴】
Transpector 2：　100, 200, 300 amuと優れた最小検知分圧の残留ガス分析
Transpector XPR3：　２次電子増倍管を持つ差動排気不要のPVD専用機種
Transpector CPM2:　クローズド・イオン・ソースによる以下の幅広い用途でのSub PPM測定
■CVD, ETCHの反応性ガス測定
■汚染物質の確認
■プロセス成分とバックグラウンド成分の測定
■低真空プロセス
■大気圧サンプリング

【その他、商品】
スキャニング・レーザー・パーティクルモニター： Stiletto
半導体量産向け　インテグレーション・ソフト： FabGuard

価格	-
価格帯	その他
納期	1ヶ月以内
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	Transpector２
用途／実績例	以下の分野での、プロセスモニター、装置管理、真空のトラブルシューティングなど ■半導体（PVD, CVD, ETCHなど）　　■光学産業　　■加速器　　■表面分析 ■研究・開発　 ■極高真空　■液晶、PDP、有機ELなどの各種ディスプレイ　　■各種真空プロセス
よく使用される業種	化学、樹脂・プラスチック、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、医療・福祉、教育・研究機関、その他

質量ガス分析計のカタログ

Trancpector　和文カタログ

【代用的商品と特徴】
Transpector 2：　100, 200, 300 amuと優れた最小検知分圧の残留ガス分析
Transpector XPR3：　２次電子増倍管を持つ差動排気不要のPVD専用機種
Transpector CPM2:　クローズド・イオン・ソースによる以下の幅広い用途でのSub PPM測定
■CVD, ETCHの反応性ガス測定
■汚染物質の確認
■プロセス成分とバックグラウンド成分の測定
■低真空プロセス
■大気圧サンプリング

【その他、商品】
スキャニング・レーザー・パーティクルモニター： Stiletto
半導体量産向け　インテグレーション・ソフト： FabGuard

[PDF:3MB]

質量ガス分析計　取扱い会社

インフィコン株式会社詳細

インフィコンは真空計測器ならびに半導体および関連産業むけのセンサー技術、プロセス制御ソフトウェアの開発、製造、技術サービスを行うリーディングカンパニーです。これらの分析・計測・制御を行う製品は、複雑な製造過程が要求される半導体、フラットパネルディスプレイ、磁気・光学記憶媒体および精密光学の分野において、ＯＥＭメーカーやエンドユーザーには必須なものとなっています。インフィコンは、また、空調・冷蔵、緊急対応、産業衛生市場の需要に対し、ガスリークディテクションや有害化学物質の分析に必要とされる計測器を提供しています。

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