表面粒子測定器 QIII Max

半導体製造装置等の定期的な清掃作業後、チャンバーや構成部品などの迅速な清浄度管理に！

JFE商事エレクトロニクス株式会社

QIII Maxは真空装置のチャンバーなどの表面にある粒子（パーティクル）を手軽に測定する為の計測器です。ダミーウェーハ等を利用した従来のパーティクル管理方法と比較して、真空引きが不要な為、装置メンテナンス後の清浄度管理にかかる時間を大幅に削減。繰り返しのクリーニング作業と真空引きを未然に防ぎ、製造装置の稼働率を大幅に向上させます。また、従来の方法ではパーティクルの管理が出来なかった取り外し不可能な部品などの測定も、現場で迅速に行えます。QIII Maxを利用する事で、生産性の向上・コスト削減・歩留まり向上に大きく寄与。清掃基準の明確化、品質基準のバラツキを抑える効果も得られます。
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表面粒子測定器 QIII Max　基本情報

【特長】
・0.3μm感度（感度0.1μmについては別途お問い合わせください）
・簡単な操作と迅速な測定が可能
・バッテリー駆動
・USBでのデータ取り出しが可能
・測定場所の形状にあった各種プローブ

＊詳しくはお問い合わせください。

価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
発売日	2011年08月
型番・ブランド名	Pentagon Technologies Surface Particle Detector QIII Max
用途／実績例	各種装置の品質保全とダウンタイム低減洗浄再生部品の出荷前・受入検査トラブルシューティング装置、部品開発＊詳しくはお問い合わせください
よく使用される業種	樹脂・プラスチック、産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、製造・加工受託、教育・研究機関、その他

表面粒子測定器 QIII Max　取扱い会社

JFE商事エレクトロニクス株式会社環境・計測機器営業部　計測機器営業室詳細

システムLSIを含むASIC全般、高性能IC用ウェーハ・ファンドリー、放送機器用IC、メモリ、セキュリティ（センサー）関連ICなどの半導体製品及び、電子部品実装関連、デバイス関連、ディスプレイ関連装置、生産システム全体の提案からメンテナンス、業用洗浄設備、計測機器等。計測機器営業室では主に海外の最先端の計測器、分析装置、製造装置を取り扱っております。下記分野・用途への適用が可能です。＊微粒子に関するコンタミネーションコントロールのノウハウとソリューション — 領域は液中、真空中、大気中（表面汚染粒子）＊微量成分分析、ナノサイズの物質の形状・環境変化に応じた動態観察＊深紫外から中赤外まであらゆる波長の光源を使用した、レンズ、光学フィルター、ミラー、レーザビーム等の評価・品質管理　＊膜ムラ分布分析＊燃焼式排ガス処理　＊マイクロ波分解・合成調製　＊粘度、密度、粘弾性、ゼータ電位測定

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