燃焼式排ガス処理装置　「GUARDIAN」

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半導体、液晶パネルや太陽電池、LED製造に使用される可燃性ガス、毒性ガス、PFCガス等を燃焼分解させる燃焼式排ガス処理装置

JFE商事エレクトロニクス株式会社

PFCガスやCVD・エッチャーからのSiH 4、TEOSを含むガスを除害します。低燃費・低ランニングコストでPFCガスを除害。スクラバーは循環方式を利用し、水使用量を削減します。オートスクレーパーにより、各種反応副生成物を除去し、閉塞を防ぎます。特殊コーティングにより耐食性に優れています。インターロックシステムでスクラバー、燃焼部、全てを安全管理。
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燃焼式排ガス処理装置　「GUARDIAN」　基本情報

ガスレシピに応じて2機種からお選びいただけます。

■G型
　・火災渦流で大流量も完全燃焼
　・優れた粉体処理
　・ガス導入は大口径のマルチポート
　・あらゆるガスを導入可能
　・シンプルで取り扱いが簡単
　・短時間の立ち上げで排ガス処理が可能
■F型
　・PFCガスを99パーセント以上分解
　・高温燃焼可能なバーナー
　・低燃費
　・シンプルな構造
　・Dry Etcherの排ガス処理に最適
　・優れた腐食対策
　・卓越した高温技術
　・後段のスクラバーでHFを除去

価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	GUARDIAN
用途／実績例	処理対象ガス：CF4、SF6、C2F6、NF3、CHF3、NH3、N2O、SiH4、SiF4、B2H6、PH3、MOガス（有機金属）、WF6、CHF3、Cl2、CO、TEOS
よく使用される業種	電子部品・半導体

燃焼式排ガス処理装置　「GUARDIAN」　取扱い会社

JFE商事エレクトロニクス株式会社環境・計測機器営業部　計測機器営業室詳細

システムLSIを含むASIC全般、高性能IC用ウェーハ・ファンドリー、放送機器用IC、メモリ、セキュリティ（センサー）関連ICなどの半導体製品及び、電子部品実装関連、デバイス関連、ディスプレイ関連装置、生産システム全体の提案からメンテナンス、業用洗浄設備、計測機器等。計測機器営業室では主に海外の最先端の計測器、分析装置、製造装置を取り扱っております。下記分野・用途への適用が可能です。＊微粒子に関するコンタミネーションコントロールのノウハウとソリューション — 領域は液中、真空中、大気中（表面汚染粒子）＊微量成分分析、ナノサイズの物質の形状・環境変化に応じた動態観察＊深紫外から中赤外まであらゆる波長の光源を使用した、レンズ、光学フィルター、ミラー、レーザビーム等の評価・品質管理　＊膜ムラ分布分析＊燃焼式排ガス処理　＊マイクロ波分解・合成調製　＊粘度、密度、粘弾性、ゼータ電位測定

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