熱焼式排ガス処理装置　ガーディアンF型

地球温暖化物質であるPFCガスの処理に適す

東京ガスケミカル株式会社

半導体300mmプロセスや液晶プロセスのPFC排ガス処理に対応
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熱焼式排ガス処理装置　ガーディアンF型　基本情報

【特徴】
○高温持続バーナーの採用
　・CF4を99％以上分解
○新設計の燃焼室/バーナー
　・低燃費・低ランニングコストの実現（開発：東京ガス（株）
○新型スクラバー
　・水使用量の削減と高メンテ性能の両立
○シリカ粉対策
　・スクレイパー装備
○耐腐食性
　・部位に応じた耐食コーティング/耐食材料
○安全・無事故・高信頼性
●その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。

価格	****** ※お気軽にお問い合わせください
価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください
発売日	取扱い中
用途／実績例	詳細はお問い合わせください。
よく使用される業種	産業用機械、電子部品・半導体、電気・ガス・水道業、その他

熱焼式排ガス処理装置　ガーディアンF型のカタログ

■ 酸素燃焼方式：CF4対応（全てのPFC）
■ 空気燃焼方式：CF4を除くPFC（SF6、NF3、C2F6などに対応）
■ 最新量産ラインにフル対応：半導体300mmライン、液晶第8世代ラインに対応
■ PFCだけでなくCVD・エッチャーからのSiH4、TEOS、SiF4などを含むガスに対応

[PDF:302KB]

熱焼式排ガス処理装置　ガーディアンF型　取扱い会社

東京ガスケミカル株式会社本社詳細

当社と生産・販売を行う子会社4社は東京ガスケミカルグループを形成し、次の事業を展開しています。 ■ 産業ガス： LNG冷熱を利用するグリーンエコガス（液化窒素・液化酸素など）、オンサイト水素などの製造・販売、その他 ■ LNG（液化天然ガス）・CNG（圧縮天然ガス）の販売 ■ 化成品：東京ガスグループの伝統を活かし、石油化学製品・石油類・タール製品などの販売 ■ エンジニアリング：LNGサテライト基地の建設など ■ 新分野：環境機器の開発・製造・販売特に当社グループは、その環境性と供給安定性から注目を集めるLNGを、産業ガスと一緒にワンストップでお客さまにお届けできることが大きな特長です。ご期待ください。

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