株式会社カナメックス 有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150
- 最終更新日：2010-12-14 13:29:26.0
- 印刷用ページ
装置寸法：560W×850D×1300H
基板をマニュアルでチャックにセットし、スプレー現像、リンス、スピン乾燥します。
基本情報有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150
【特徴】
■装置寸法
1700W×1300D×1400H
■ワークサイズ
ウェハー φ4″～φ8″
マスク □4″～□6″
■オプション
薬液供給ユニット
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
| 価格情報 |
****** お気軽にお問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | WSD-150 |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせください |
カタログ有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150
取扱企業有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150
-
-
半導体前工程／先端実装／ＦＰＤ分野におけるフォトリソグラフィ関連等のウエットプロセス装置の設計製作及び販売
有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
