株式会社カナメックス 有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
- 最終更新日:2010-12-14 13:44:01.0
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装置寸法:1700W×1300D×1400H
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
本体側面にキャニスター缶を収納可能。
基本情報有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
【特徴】
■装置寸法
1700W×1300D×1400H
■ワークサイズ
ウェハー φ4″~φ8″
マスク □4″~□6″
■オプション
薬液供給ユニット
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
価格情報 |
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型番・ブランド名 | WSD-150 |
用途/実績例 | 詳細はお問い合わせください |
カタログ有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
取扱企業有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
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