枚葉自動マルチスピンプロセッサー
枚葉自動マルチスピンプロセッサー http://www.ipros.jp/public/product/image/005/2000009013/IPROS2579803433401483982.jpg 【特徴】 ■装置寸法   2700W×1500D×2000H (200WCBT)   3000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ  ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″)  マスク   □4″~□6″(   同  MAX□9″) ■オプション  ワーク反転機構 FOUPロードポート対応 レチクルケース対応 SMIF POD対応 オリフラ/ノッチ合わせ機構 イオナイザー オゾン水供給ユニット 高圧ポンプユニット 薬液供給ユニット 機能水供給ユニット エキシマUVユニット 帯電防止器 □その他詳細についてはカタログをご覧ください 株式会社カナメックス 厚木工場 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT ******
  • リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
    株式会社カナメックス
    カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。
    チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。

基本情報枚葉自動マルチスピンプロセッサー

【特徴】
■装置寸法
  2700W×1500D×2000H (200WCBT)
  3000W×1500D×2000H (300WCBT)
■ワークサイズ
 ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″)
 マスク   □4″~□6″(   同  MAX□9″)
■オプション
 ワーク反転機構
FOUPロードポート対応
レチクルケース対応
SMIF POD対応
オリフラ/ノッチ合わせ機構
イオナイザー
オゾン水供給ユニット
高圧ポンプユニット
薬液供給ユニット
機能水供給ユニット
エキシマUVユニット
帯電防止器

□その他詳細についてはカタログをご覧ください

価格

******
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価格帯

納期


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発売日

取扱い中
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型番・ブランド名

WSD-200CBT/WSD-300CBT

用途/実績例

詳細はお問い合わせください

よく使用される業種

電子部品・半導体、教育・研究機関

カタログ枚葉自動マルチスピンプロセッサー

  • 特徴】
    ■装置寸法
      2700W×1500D×2000H (200WCBT)
      3000W×1500D×2000H (300WCBT)
    ■ワークサイズ
      ウェハー φ4″~φ8″(300WCBTはMAXφ12″)
     マスク   □4″~□6″(   同   MAX□9″)
    ■オプション
      ワーク反転機構  
      FOUPロードポート対応
     レチクルケース対応
      SMIF POD対応
     オリフラ/ノッチ合わせ機構
      イオナイザー
     オゾン水供給ユニット
      高圧ポンプユニット
     薬液供給ユニット
      機能水供給ユニット
     エキシマUVユニット
      帯電防止器

    □その他詳細についてはカタログをご覧ください

取扱会社枚葉自動マルチスピンプロセッサー

半導体前工程/先端実装/FPD分野におけるフォトリソグラフィ関連等のウエットプロセス装置の設計製作及び販売

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