- P-620.1－P-629.1 PIHeraピエゾリニアステージ
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- 最終更新日：2011/02/18
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- ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ
- ピーアイ・ジャパン株式会社
- 単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。
- この製品 を
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P-620.1－P-629.1 PIHeraピエゾリニアステージ 基本情報
【特徴】
○ストローク50～1800μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
| 価格 |
****** ※お気軽にお問い合わせください |
|---|---|
| 価格帯 | その他 |
| 納期 |
※お気軽にお問い合わせください |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 型番・ブランド名 | P-620.1－P-629.1 PIHera(R)ピエゾリニアステージ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・干渉計 ・顕微鏡による検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術 |
| よく使用される業種 | 産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、航空・宇宙、試験・分析・測定、IT・情報通信、環境、医療機器、医薬品・バイオ、製造・加工受託、その他製造、情報通信業、医療・福祉、教育・研究機関、その他 |
P-620.1－P-629.1 PIHeraピエゾリニアステージのカタログ
ピエゾフレクシャーステージ／高速スキャニングシステム
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- ・最大1500μmストローク
・1ナノメートル以下の分解能を誇る静電容量センサーを内蔵
・大口径を有する一体構造型XY、XYZステージ
・摩擦及び粘着はありません
・超高真空、ベーキング可
・微鏡対物レンズ用ポジショナー
・顕微鏡レボルバー用ポジショナー
・最大６軸一体型 （１台のステージで１軸から多軸まで対応）
・バックラッシュもありません
・疲労、磨耗もありません
・非磁性対応 - [PDF:13MB]
- ・最大1500μmストローク
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