N-111 NEXLINE OEMリニアモーター／アクチュエータピーアイ・ジャパン

長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、高分解能、および発生力～40Nでコンパクト

N-111 NEXLINE(R) OEMドライブは、ストローク～5mm、
高分解能、および発生力～40Nの、コンパクトなナノポジショニング用アクチュエータです。

【特徴】
○ストローク：5mm
○分解能：0.025nm（オープンループ）と5nm（クローズドループ）
○プッシュプルフォース～40Nおよび60Nの保持力
○静止時の自動ロック、発熱なし
○非磁性および真空対応の動作原理

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基本情報N-111 NEXLINE OEMリニアモーター／アクチュエータ

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型番・ブランド名	N-111 NEXLINE(R)OEMリニアモーター／アクチュエータ
用途／実績例	応用例・半導体製造・半導体の試験・ウェハーの検査・ナノリソグラフィ・ナノインプリント・ナノ計測・アクティブ振動ダンピング・強磁場での動作