TurboDisc MaxBright MOCVD System

業界最高レベルの生産性を誇る LED 製造プラットフォーム

日本ビーコ株式会社

TurboDisc MaxBright GaN MOCVD マルチリアクターシステムは、高品質な高輝度発光ダイオード (LED) を製造する MOCVD システムで、業界最高レベルの生産性を誇ります。MaxBrightでは、2台または4台の高スループットMOCVD リアクターで構成したリアクタークラスタによるモジュール方式とすることで、生産現場で実績のあるVeeco社のUniform FlowFlange テクノロジーと自動化の専門技術を活用しています。この改良型リアクターは、幾多の実績を誇る K465i の設計を基に、ウェハー容量の拡大および独自の最先端クローズドループ温度制御技術を特徴としており、標準型の K465i に対して 25% のスループット向上を果たしています。また、K465i から MaxBright への作業移管をスムーズに行って、迅速な生産移行を図ることができます。
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TurboDisc MaxBright MOCVD System　基本情報

◆マルチリアクター構成により業界最高レベルの生産性および最大限のコスト削減を実現
◆業界標準の K465i に対して 25% のスループット向上を実現したリアクター
◆標準型 MOCVD システムの 2.5 倍という最高レベルの設置効率
◆シングルチャンバーまたはマルチチャンバーでの層成長が可能なシステム構成
◆K465i からのスムーズな作業移管による迅速な生産移行

価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください
発売日	取扱い中
用途／実績例	詳しくはお問い合わせ下さい。
よく使用される業種	産業用機械、産業用電気機器、光学機器、試験・分析・測定、その他製造、電気・ガス・水道業、教育・研究機関、その他

TurboDisc MaxBright MOCVD System　詳細情報

展示会情報

LED ジャパン 2011/Strategies in Light
会期：2011年9月28日（水）- 30 日（金）
会場：パシフィコ横浜　展示ホールC, Dおよびアネックスホール
小間番号：M-36

9/28（水）14:00～14:45 「高輝度LED及びGaN HEMT向けMOCVDの最新動向」のセミナーを行います。

TurboDisc MaxBright MOCVD Systemのカタログ

TurboDisc MaxBright GaN MOCVD マルチリアクターシステム

TurboDisc MaxBright GaN MOCVDマルチリアクターシステムは、高品質な高輝度発光ダイオード（LED）を製造するMOCVDシステムであり、業界最高レベルの生産性を誇ります。

[PDF:502KB]
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TurboDisc MaxBright MOCVD System　取扱い会社

日本ビーコ株式会社詳細

LEDおよび太陽光発電装置、データストレージプロセス装置の２つの事業分野で最先端のテクノロジーをリードしております。

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