アニール炉（超高温熱処理装置）

Ultra High Temperature Annealing System アニール炉（超高温熱処理装置）

東横化学株式会社

■ 超高温熱処理
・Max. 1,380℃処理
■長寿命ヒーター採用
■スリップ低減
■低金属汚染
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アニール炉（超高温熱処理装置）　基本情報

■ SIMOX Wafer のアニール
■ H2アニール
■ Ar，O2/Arアニール

■装置構成（特許技術）
高機能アニールに関する豊富な経験・技術による安全かつ最適なシステムを提供。
■長寿命ヒータ
卓越した技術と素材の組み合わせにより、長寿命と長い灼熱ゾーンを実現。
■装置構成（特許技術）
高機能アニールに関する豊富な経験・技術による安全かつ最適なシステムを提供。
■長寿命ヒータ
卓越した技術と素材の組み合わせにより、長寿命と長い灼熱ゾーンを実現。

価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
用途／実績例	■ SIMOX Wafer のアニール ■ H2アニール ■ Ar，O2/Arアニール
よく使用される業種	飲食料品、化学、産業用機械、電子部品・半導体、光学機器、航空・宇宙、製造・加工受託、商社・卸売り、小売、電気・ガス・水道業

ラインナップ

型番	概要
UHTV-0880
UHTV-9000
UHTV-9000WT

アニール炉（超高温熱処理装置）　取扱い会社

東横化学株式会社詳細

■各種高圧ガスの販売及びプラント建設 ■半導体製造用各種装置の開発・設計・製造・販売 ■流体制御用機器の開発・製造・販売 ■PA・FA用ソフトウェアの販売

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